朱煜(電子科技大學教授)

個人簡介

朱煜：男，電子科技大學教授。

個人經歷

1983.07 北京師範大學無線電電子學系理學學士學位；

1993.09 中國礦業大學信電學院計算機系工學碩士學位；

2001.07 中國礦業大學機電工程學院工學博士學位；

2001.08-2004.03 清華大學精密儀器與機械學系博士後。

研究方向

作為國家創新團隊負責人，帶領清華大學9名教師、研究生與工程研究人員等組成的百餘人重大科技研究攻關團隊，面向IC製造裝備超精密動力學系統與控制、納米精度工程與測控技術、IC製造裝備精密機電系統，圍繞納米級運動精度的生成，建設國內一流的精密機械、測控及集成平台，支撐超精密機電系統基礎理論及關鍵技術研究。具體方向包括：

1. 精密與超精密機電系統結構動力學設計、分析與集成；

2. 精密與超精密運動系統建模、分析與控制；

3. 多自由度運動系統精密與超精密動態測量；

4. 高性能隔震系統設計與振動檢測、主動控制。

科研成果

近5年主持國家級科研項目近20項，包括973、國家自然科學基金、國家科技重大專項、863等，累計科研經費近3.5億元。主持撰寫國家科技專項發展戰略報告及專題研究報告30餘份，出版學術專著2部，發表學術論文160餘篇，其中SCI收錄近40篇，EI收錄近140篇。申請國家發明專利120餘項(其中9項美國發明專利、14項PCT專利)，授權40餘項(其中4項美國發明專利)。

學術榮譽

1.2012年入選國家“萬人計畫”首批科技創新領軍人才，科技部“重點領域創新團隊”帶頭人；

2. 2011年獲科技部“十一五國家科技計畫執行突出貢獻獎”；

3. 重大專項實施管理辦公室“產學研合作獎”（2011）與“突出貢獻獎”（2010）

學術兼職

1.IC裝備重大專項實施方案編制專家組和總體專家組副組長(裝備組組長)；

2.中國機械工程學會高級會員，IEEE會員，北京電子製造裝備行業協會常務理事，《半導體學報》常務理事、編委，《儀器科學》編委，長期擔任《機械工程學報》等國內外學術期刊審稿人；

3. 電子科技大學、中科院光電研究院、復旦大學微電子學院等兼職教授；

4.光刻設備產業技術創新戰略聯盟副理事長、專家委員會副主任，瀋陽IC裝備產業技術創新聯盟專家委員會副主任。

教學工作

教學工作

1.清華大學機械工程學院平台課《製造工程基礎》授課

2.清華大學《現代機電工程》主講

3. 清華大學《機械學科前沿》單元授課