微納製造科學與技術

《微納製造科學與技術——從基本原理到工程套用》，由華中科技大學出版社於2024年出版，作者為華中科技大學陳蓉、單斌、曹坤、劉瀟。

基本介紹

• 中文名：微納製造科學與技術——從基本原理到工程套用
• 外文名：Micro/Nano Manufacturing Science and Technology-From Fundamental Principles to Engineering Applications
• 作者：陳蓉、單斌、曹坤、劉瀟 
• 語言：中文
• 出版時間：2024年1月1日
• 出版社：華中科技大學出版社
• 出版地：中國·武漢
• 頁數：228 頁
• 字數：39.7萬字
• ISBN：9787568093019
• 定價：49.80 元
• 開本：16 開
• 裝幀：簡裝

內容簡介

本書主要介紹了微納製造科學與技術的基本理論、技術方法及工程套用，全書分為7章。第1章簡要介紹微納製造科學與技術的定義、重要發展階段、主要研究方法及其新興發展趨勢等；第2章介紹微納尺度的物理化學原理；第3章介紹豐富多彩的微納材料和結構；第4章介紹多種多樣的微納尺度加工方法；第5章講述各種微納尺度的表征技術；第6章和第7章介紹微納製造的相關套用，涵蓋了微電子、物聯網、航空航天、光電顯示、交通運輸、醫療健康等諸多領域。 本書可作為微納製造領域的研究生和高年級本科生的教材或高校教師的參考書，也可作為從事微納製造研究的科技工作者的閱讀資料。

圖書目錄

第1章緒論(1)

1.1引言(1)

1.2微納製造的發展歷程(3)

1.3微納製造的內涵與外延(5)

1.4挑戰與發展趨勢(10)

習題(13)

本章參考文獻(13)

第2章微納尺度的物理化學(17)

2.1引言(17)

2.2電磁波和物質波(17)

2.2.1電磁波(17)

2.2.2波粒二象性(18)

2.2.3物質波(25)

2.3物質結構(26)

2.3.1原子結構(26)

2.3.2晶體結構(28)

2.3.3能帶理論(33)

2.4加工尺寸效應(34)

2.4.1光學曝光(35)

2.4.2雷射加工(36)

2.4.3粒子束加工(36)

習題(37)

本章參考文獻(37)

第3章納米材料與結構(40)

3.1引言(40)

3.1.1納米材料的發展歷程(40)

3.1.2納米材料的特性(42)

3.1.3納米材料與結構的分類(44)

3.2零維納米材料(46)

3.2.1富勒烯(46)

3.2.2納米顆粒(48)

3.2.3量子點(52)

3.3一維納米材料(55)

3.3.1碳納米管(55)

3.3.2納米線(58)

3.4二維納米材料(61)

3.4.1石墨烯(61)

3.4.2氮化硼(64)

3.4.3層狀金屬化合物(64)

3.5三維納米材料(65)

3.5.1MOFs材料與結構(65)

3.5.2三維有序大孔結構(68)

3.5.3介孔納米結構材料(69)

習題(70)

本章參考文獻(71)

第4章微納製造及加工技術(77)

4.1引言(77)

4.2微納米圖案化(78)

4.2.1微納加工技術(78)

4.2.2光刻(80)

4.2.3刻蝕(86)

4.2.4高能束加工(88)

4.3納米壓印(91)

4.3.1熱壓印技術(91)

4.3.2紫外光固化納米壓印技術(91)

4.3.3軟刻蝕壓印(92)

4.3.4大面積滾軸壓印(93)

4.3.5納米壓印的套用及技術挑戰(93)

4.4納米結構自組裝(93)

4.4.1納米結構自組裝體系的基本概念(93)

4.4.2薄膜自組裝(94)

4.4.3管狀結構自組裝(96)

4.4.4納米顆粒自組裝(98)

4.4.5浸筆式納米光刻技術(99)

4.4.6自組裝技術的發展趨勢(100)

4.5薄膜沉積(100)

4.5.1物理氣相沉積(100)

4.5.2化學氣相沉積(102)

4.5.3原子層沉積(104)

4.6探針加工方法(109)

4.6.1基於原子力顯微鏡探針的納米加工(109)

4.6.2基於掃描隧道顯微鏡探針的納米加工(113)

4.7積體電路製造流程(115)

4.7.1晶圓加工(115)

4.7.2晶片製造流程(118)

習題(120)

本章參考文獻(120)

第5章微納表征(127)

5.1引言(127)

5.2顯微技術(128)

5.2.1光學顯微鏡(128)

5.2.2掃描電子顯微鏡(130)

5.2.3透射電子顯微鏡(135)

5.2.4原子力顯微鏡(138)

5.2.5掃描隧道顯微鏡(141)

5.3譜學技術(142)

5.3.1俄歇電子能譜(142)

5.3.2電子微探針(144)

5.3.3二次離子質譜(147)

5.3.4X射線光電子能譜(150)

5.4X射線衍射(151)

5.5電學及光學測試表征(153)

5.5.1電學性質表征(153)

5.5.2光敏器件測試(156)

5.5.3光學測試(157)

5.6力學測試(162)

5.7磁性測試(164)

習題(165)

本章參考文獻(166)

第6章微納米器件(168)

6.1引言(168)

6.2微電子(169)

6.2.1電晶體(169)

6.2.2存儲器件(178)

6.2.3量子計算機(180)

6.3光電子(181)

6.3.1顯示技術(181)

6.3.2太陽能電池(186)

6.3.3生物螢光標記(187)

6.3.4光通信(187)

6.4感測器(190)

習題(196)

本章參考文獻(197)

第7章生活中的納米技術(201)

7.1引言(201)

7.2織物(201)

7.2.1抗菌防水納米織物(202)

7.2.2防護納米織物(202)

7.2.3能量收集納米織物(204)

7.2.4高反射偽裝納米織物(204)

7.3食品與藥品(205)

7.3.1水淨化(205)

7.3.2食品包裝(206)

7.3.3納米藥物(206)

7.4建築(210)

7.4.1智慧型玻璃(210)

7.4.2空氣淨化(211)

7.4.3建築外牆(212)

7.5交通工具(214)

7.5.1運動裝備(214)

7.5.2汽車(215)

習題(220)

本章參考文獻(220)

本書特點

《微納製造科學與技術——從基本原理到工程套用》是一本全面介紹微納製造的圖書，涵蓋了微納製造的基本原理及微納製造在多領域的工程套用，內容豐富、結構清晰，深入淺出地闡述了微納製造領域的各個方面。

1.理論知識充 本書首先對微納製造做了基本概述，其次從微納尺度的物理化學原理、微納材料和結構、多樣的微納尺度加工方法、各種微納尺度的表征技術等多個方面進行理論講解。

2.套用場景廣泛 本書在介紹微納製造的理論知識後，還詳細概述了微納製造的相關套用，涵蓋了微電子、物聯網、航空航天、光電顯示、交通運輸、醫療健康等諸多領域。

3.配套資源豐富 本書配套了教學大綱、課件、教學視頻、習題解析等豐富的數字資源，便於讀者更好地掌握相關知識。本書可作為高年級本科生、研究生教材或教師參考書，也可作為微納製造研究的科技工作者的參考書。