微納米製造技術及套用

《微納米製造技術及套用》是2015年科學出版社出版的圖書，作者是張德遠、蔣永剛、陳華偉、秦威。

基本介紹

• 書名：微納米製造技術及套用
• 作者：張德遠、蔣永剛、陳華偉、秦威
• 出版社：科學出版社
• 出版時間：2015年10月
• ISBN：9787030457516 

內容簡介

本書介紹了微納米製造領域涉及的各類加工技術及其套用特點。全書共7章，內容涵蓋了微細機械加工技術、表面成膜與增材製造技術、半導體工藝及封裝技術、微納壓印技術、微納生物加工成形等。

圖書目錄

封面

微納米製造技術及套用

內容簡介

《21世紀先進制造技術叢書》編委會

《21世紀先進制造技術叢書》序

前言

第1章 緒論

第2章 微細機械加工技術

第3章 表面成膜與增材製造技術

第4章 半導體工藝及封裝技術

第5章 微納壓印技術

第6章 納米結構自組裝技術

第7章 微納生物加工成形

封底