《電化學微納加工：儀器平台、理論和套用研究》是依託廈門大學，由詹東平擔任項目負責人的專項基金項目。
基本介紹
- 中文名：電化學微納加工：儀器平台、理論和套用研究
- 項目類別：專項基金項目
- 項目負責人：詹東平
- 依託單位：廈門大學
項目摘要,結題摘要,
項目摘要
微納加工技術是當今高科技產業的關鍵技術，電化學方法在微納加工技術占有重要的一席之地。但是由於對精密加工儀器平台及其控制系統、電化學去除速率與機械運動的耦合關係的研究匱乏，嚴重阻礙了電化學微納加工產業化進程。針對上述關鍵問題，結合廈門大學在電化學微納加工領域20年的積澱和申請者在該領域的研究經驗，與哈爾濱工業大學精密工程研究所的強強聯合，研製集成化電化學微納加工儀器平台，並以此為依託，開展電化學微納加工的理論和套用研究，具體包括：（1）微納精度的機械操縱系統；（2）微納位移線上監測系統；（3）電化學控制系統；（4）溶液循環及溫控系統；（5）信息處理計算機軟體系統；（6）電化學微納加工體系反應動力學；（7）化學去除與機械運動的耦合關係。本研究將為電化學微納加工理論與套用研究提供模組化設計的通用平台。
結題摘要
微納加工技術是當今高科技產業的關鍵技術，電化學方法在微納加工技術占有重要的一席之地。但是由於對精密加工儀器平台及其控制系統、電化學去除速率與機械運動的耦合關係的研究匱乏，嚴重阻礙了電化學微納加工產業化進程。針對上述關鍵問題，結合廈門大學在電化學微納加工領域20年的積澱和申請者在該領域的研究經驗，與哈爾濱工業大學精密工程研究所的強強聯合，研製集成化電化學微納加工儀器平台，並以此為依託，開展電化學微納加工的理論和套用研究，具體包括：（1）微納精度的機械操縱系統；（2）微納位移線上監測系統；（3）電化學控制系統；（4）溶液循環及溫控系統；（5）信息處理計算機軟體系統；（6）電化學微納加工體系反應動力學；（7）化學去除與機械運動的耦合關係。經過四年的項目實施，圓滿完成項目研究計畫：（1）成功研製具有納米精度位移、集加工、檢測和反饋一體化的電化學微納加工儀器平台；（2）研究了約束刻蝕反應動力學，探明了化學去除與機械運動的偶聯關係，全面提升了電化學微納加工水平；（3）在所研製的儀器平台的支撐下，發展出了一系列基於“約束化學刻蝕”原理的新方法，包括無需任何輔助工藝、直接適用於半導體材料的電化學納米壓印和電化學光刻技術；（3）該儀器平台為微納尺度電化學的基礎研究提供了很好的支撐作用。總計發表研究論文35篇，授權專利12項。
