《微納加工基礎技術與方法》是2021年冶金工業出版社出版的圖書。
《微納加工基礎技術與方法》是2021年冶金工業出版社出版的圖書。內容簡介本書系統介紹了各種精密加工方法，將超精密微加工法和表面加工方法的基礎原理和技術做了融合。全書共分為十一章，主要介紹了雷射束加工方法、電子束加工方法、...
納米壓印技術是一種新型的微納加工技術。該技術通過機械轉移的手段，達到了超高的解析度，有望在未來取代傳統光刻技術，成為微電子、材料領域的重要加工手段。概念 納米壓印技術，是通過光刻膠輔助，將模板上的微納結構轉移到待加工材料上...
光學投影光刻在微納加工技術中一直扮演著重要角色，起到了極其重要的作用。光學投影光刻在微納加工技術中的主要套用如下：①用於大規模積體電路晶片製作。近20多年來，超大規模積體電路迅速發展，集成度越來越高，從單個電晶體發展到今天的...
1.5微納米加工技術005 1.5.1微納米加工技術的基本過程006 1.5.2微納米加工成像工藝類型007 第2章微切削加工技術 / 009 2.1微切削加工技術概論009 2.2微切削力學010 2.2.1尺寸效應010 2.2.2切屑形成與最小切削厚度011 2.2...
第4章雷射加工技術110 4.1飛秒雷射三維加工的基本原理112 4.2飛秒雷射三維加工系統的組成與工藝114 4.2.1系統的組成114 4.2.2工藝過程115 4.3三維微納米結構的製備117 4.3.1鏤空襯底上三維微納米結構的加工118 4.3.2光子晶體...
通過本課題的研究，將提供一個基於探針納米振動原理的三維微納結構新型加工方法及加工系統，並且將為建立納米尺度振動切削理論奠定基礎，具有重要的理論意義和良好的套用前景。結題摘要 隨著納光學、納電子學、納米流控等技術的飛速發展，基於...
飛秒雷射微加工作為一種新型高能束微納製造技術，在複雜三維構型製作方面具有其獨特的優勢，但雷射加工效率的問題嚴重製約了飛秒雷射微加工技術走向實際工程套用，已成為一個國際性難題。本項目在申請者良好的前期研究基礎上，提出了一種飛秒...
絕緣體、半導體、金屬）的細緻物理機制，探索飛秒雷射調變石墨烯的能帶結構與帶隙的關鍵技術；利用飛秒雷射直寫製備原理性柔性石墨烯驅動電路，獲得自主智慧財產權，為石墨烯柔性驅動電路的製備奠定堅實的技術基礎，為我國信息技術的進步作出...
結構基元由成千上萬個體積元組成，這一技術可以突破加工效率和加工視場、加工精度的內在矛盾，大幅度提升加工效率。通過項目研究，闡明由多維參數調控構建亞焦點結構的基本規律，掌握以空間光調製和衍射微光學螺旋位相調控等為代表的典型亞...
以雷射微納製造理論研究為基礎，典型零部件的雷射微納製造為依託，為MEMS零部件和大型機電系統上的微細結構特徵的加工提供了理論方法和技術手段。圖書目錄 第1章雷射微納製造技術概述 第2章雷射微納製造原理 第3章雷射加工微孔技術 第4...
本書共分十二章，第1－8章分類介紹了幾種主要的微納加工技術，包括：光學曝光、電子束曝光技術、聚焦離子束加工技術、雷射加工技術、納米壓印技術、離子束技術、薄膜技術和自組裝加工，即簡要概述了各種加工方法的科學基礎，又從實用出發...
《微納加工科學原理》基於作者長期從事微納加工技術、帶電粒子光學和光電子學等方面的科研和教學工作積累，系統、全面地論述現代微米與納米微細加工的科學原理。主要內容包括：光子、電子、離子和電漿及其作用，常用的襯底與薄膜材料，微...
目的是使讀者能夠切實和全面地了解聚合物微納製造技術的原理和最新進展。圖書目錄 第1章緒論 1.1微納製造概論 1.2聚合物微納製造發展簡史 1.3聚合物微納製造方法概述 參考文獻 第2章聚合物材料結構特徵與性能 2.1聚合物材料的特點...
1.3.2 粉體微納技術工藝的最佳化 10 參考文獻 11 第2 章粉體微納化技術理論基礎12 2.1 超細微納米化破碎理論機理分析 12 2.1.1 超細粉碎理論基礎 12 2.1.2 超細粉體的特徵 ...
四、氦氖雷射器的穩頻方法 五、兩種雷射干涉儀的構成 第三節 雷射定位精密工件台的主要指標與結構 一、主要技術指標 二、工件台結構組成 三、工件台主體的結構 四、片庫與傳輸片機械手 五、真空箱體和隔振基礎 第四節 雷射定位精密...
1.2矽表面微納結構加工技術2 1.2.1“自上而下”的刻蝕技術2 1.2.2“自下而上”的自組裝方法4 1.3基於機械化學方法的微納結構製造技術的研究現狀6 1.3.1矽表面可控自組裝微納結構製造技術6 1.3.2矽表面自組裝微納結構的...
1.理論知識充 本書首先對微納製造做了基本概述，其次從微納尺度的物理化學原理、微納材料和結構、多樣的微納尺度加工方法、各種微納尺度的表征技術等多個方面進行理論講解。2.套用場景廣泛 本書在介紹微納製造的理論知識後，還詳細...
第一節 微納加工與曝光技術 第二節 電子束曝光技術的發展歷史及原理 第三節 不同類型的電子束曝光系統 參考文獻 第二章 電子束曝光機中的電子光學系統 第一節 概述 第二節 電子光學基礎 第三節 電子束曝光機的透鏡 第四節 電子...
第二章 精密測量技術 第一節 概述 第二節 光柵測量技術 一、光柵位移檢測原理 二、高解析度的實現 三、光柵測量的精度分析 第三節 雷射干涉儀測量技術 一、一些基本概念 二、雷射干涉儀 三、雙頻雷射干涉儀中的幾項關鍵技術 四、...
全書共分七章,第一章為光學投影光刻基礎,介紹光學投影光刻的發展、分類,光學投影光刻的關鍵單元技術及分系統,光學投影光刻在微納加工技術中的套用;第二章為投影光刻的光學系統,包括投影物鏡、照明系統、...
1.2矽表面微納結構加工技術2 1.2.1“自上而下”的刻蝕技術2 1.2.2“自下而上”的自組裝方法4 1.3基於機械化學方法的微納結構製造技術的研究現狀6 1.3.1矽表面可控自組裝微納結構製造技術6 1.3.2矽表面自組裝微納結構的...
（3）在所研製的儀器平台的支撐下，發展出了一系列基於“約束化學刻蝕”原理的新方法，包括無需任何輔助工藝、直接適用於半導體材料的電化學納米壓印和電化學光刻技術；（3）該儀器平台為微納尺度電化學的基礎研究提供了很好的支撐作用。
微納粉體加工技術與裝備 本書以粉體微納化技術以及相關設備使用為主線，詳細介紹了微納材料的性能與特性、微納材料的表征與測試技術、微納化工藝設計以及相關設備的選擇,並給出了粉體設備的仿真設計計算案例。本書適合材料和機械相關...
近年來, 作為最新的雷射加工技術之一的飛秒脈衝雷射多光子微納加工技術已成為國際上研究的熱點.該技術利用多光子效應和雷射與物質作用的閾值效應, 成功地實現了納米尺度的雷射直寫加工解析度, 可望在功能性微納器件製備等納米技術領域發揮...
