《微納加工中的精密工件台技術》是“電子束、離子束、光子束微納加工技術系列專著”中的一個分冊。
基本介紹
- 書名：微納加工中的精密工件台技術
- ISBN：7563914323，9787563914326
- 頁數：278頁
- 出版社：北京工業大學出版社
- 出版時間：2004年12月1日
- 裝幀：平裝
- 開本：16
內容簡介,目錄,
內容簡介
它與已出版的《電子束曝光微納加工技術》一書相輔相成，重點講述微納加工中的關鍵部件——精密工件台的結構、原理和主要技術，以及通過精密工件台提高加工精度和生產效率的有效方法。全書分為九章。第一章 講述精密工件台的組成、發展現狀和主要技術指標。第二章 至第五章 系統介紹精密測量技術、驅動技術、直線導向技術的工作原理、技術特點和選用準則。第六章 通過實例闡明微位移技術的原理及結構特點。第七章 和第八章 講述精密工件台的控制系統、精度分析及精度補償方法。第九章 主要介紹精密工件台在微電子產業、精密測量、生物晶片技術、納米表面形貌測量和納米加工設備中的具體套用和發展前景。
在當前微納加工技術迅猛發展和相關專著及技術圖書十分匱乏的情況下，《微納加工中的精密工件台技術》的出版對促進我國微納加工技術的研發工作必將起到積極的作用。
目錄
第一章 緒論
第一節 精密工件台
一、工件台的定義和分類
二、精密工件台的組成和分類
三、精密工件台的用途
第二節 精密工件台技術的發展
一、精密工件台技術的發展概況
二、當前工件台達到的最高性能指標
三、國內的發展狀況
第三節 本書的內容和目的
第二章 精密測量技術
第一節 概述
第二節 光柵測量技術
一、光柵位移檢測原理
二、高解析度的實現
三、光柵測量的精度分析
第三節 雷射干涉儀測量技術
一、一些基本概念
二、雷射干涉儀
三、雙頻雷射干涉儀中的幾項關鍵技術
四、測量系統
五、平面鏡雷射干涉儀的對準分析和測量誤差分析
六、平面鏡雷射干涉儀的安裝與調整
第三章 高速、高精度直線驅動技術
第一節 高速、高精度直線驅動技術概況
一、高速、高精度直線驅動技術
二、直線驅動技術分類
第二節 間接驅動技術
一、旋轉電機
二、滾珠絲槓副
第三節 直接驅動技術
一、電磁式直線電機的直接驅動
二、壓電直線電機的直接驅動
第四章 直線導向技術
第一節 概述
一、直線導軌的導向原理
二、對導軌的基本要求
第二節 常用導軌的類型及其技術特性
一、塑膠(PTEE)導軌
二、滾動導軌
三、靜壓導軌
四、彈簧導軌
五、磁懸浮導軌
第三節 導軌對工件台的影響
一、導向精度對測量精度的影響
二、導軌類型對位移解析度的影響
第五章 精密工件台的結構型式
第一節 平面單層式結構
一、機械式平面單層結構
二、氣浮式平面單層結構
三、磁懸浮式平面單層結構
第二節 雙層結構
一、機械式雙層結構
二、靜壓式雙層結構
第三節 大行程納米級精密工件台的實現
一、“十字”型工件台結構
二、“H”型工件台結構
三、六維磁懸浮納米級精密工件台
第六章 微位移技術
第一節 微位移機構
一、機械傳動式微位移機構
二、扭輪摩擦傳動微位移機構
三、電熱變形致動式微位移機構
四、彈性變形傳動式微位移機構
五、磁致伸縮式微位移機構
六、壓電陶瓷或電致伸縮微位移機構
七、電磁驅動式微位移機構
八、其他
第二節 微位移感測器
一、電阻應變式微位移感測器
二、電容式微位移感測器
第三節 微位移工件台的設計和特性分析
一、設計要求
二、設計步驟
三、驅動和控制
四、實驗分析
第七章 控制技術
第一節 概述
一、主、從控制器
二、位置測量
三、驅動電路和驅動機構
四、位置顯示
五、限位保護系統
第二節 伺服控制系統
一、伺服控制系統的構成
二、伺服定位控制系統的基本分類
三、控制系統的控制方式
四、控制系統的特性及指標
五、控制系統對電動機的要求
第三節 電動機的控制
一、直流電動機伺服控制
二、交流電動機伺服控制
三、步進電機控制
四、超聲電機控制
第四節 控制系統的補償方法
一、串聯補償
二、負反饋補償
三、前饋補償
四、複合控制與擾動補償
五、順饋補償
六、常用的補償電路
七、常用的調節器
八、數字控制系統的PID調節器
第五節 信號檢測
一、電流檢測
二、電壓檢測
三、轉速檢測
四、位置檢測
第六節 幾種不同類型工件台的控制
一、光柵掃描電子束曝光機工件台的控制
二、X-Y-θ工件台的伺服控制
三、平面步進電機X-Y-θ超精密工件台的控制系統
第八章 精密工件台的精度分析
第一節 精度分析
一、工件台的用途及其工作原理
二、工件台開環系統的精度分析
三、工件台閉環系統的精度分析
第二節 工件台的幾個性能指標及其測試方法
一、性能指標
二、測試方法
三、精度補償
第三節 高精度的保證
一、熱變形的控制
二、振動的控制
三、小結
第九章 精密工件台的套用
第一節 精密工件台在微電子產業中的套用
一、精密工件台在光刻設備中的套用
二、精密工件台在光學曝光系統中的功能
三、對套刻精度和生產率的影響
四、步進重複式精密工件台
五、步進掃描式精密工件台
六、精密工件台在電子束掃描曝光機中的作用
七、x射線光刻機中套用的精密定位工件台
八、幾種光刻技術中的工件台比較
九、精密工件台在掩模版修復儀中的套用
十、掩模或晶片上圖形尺寸的測量
第二節 精密工件台在坐標測量機中的套用
一、精密工件台在工具顯微鏡中的套用
二、精密工件台在三坐標測量機中的套用
第三節 在基於掃描探針顯微鏡技術的微加工系統中的套用
一、掃描探針顯微技術
二、基於AFM技術的微加工系統
第四節 精密工件台在生物晶片技術中的套用
第五節 精密工件台在機械製造中的套用
一、超精密車床
二、電火花切割加工設備
三、三維成型加工
第六節 小結
參考文獻
