聚焦離子束微納加工技術（電子束離子束光子束微納加工技術系列專著）本書重點講述聚焦離子束技術的原理；聚焦離子束系統的結構，包括離子源、離子光學柱體、圖形發生器和精密工件台等；聚焦離子束技術的套用實例和發展前景。同時還探討了聚焦離子束的有關關鍵技術，所述內容極具科技前沿性和前瞻性。
基本介紹
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內容提要
離子束加工是利用荷能離子與工件表面發生物理和化學反應，從而實現材料刻蝕、注入、沉積和改性的微米納米加工技術。離子束加工可分為常規離子束加工和聚焦離子束加工。近年來，隨著納米科技和半導體積體電路產業的飛速發展，具有多功能、高解析度的聚焦離子束加工技術受到人們空前的重視，它已成為當前微米納米加工的重要手段。
本書重點講述聚焦離子束技術的原理；聚焦離子束系統的結構，包括離子源、離子光學柱體、圖形發生器和精密工件台等；聚焦離子束技術的套用實例和發展前景。同時還探討了聚焦離子束的有關關鍵技術，所述內容極具科技前沿性和前瞻性。
作者顧文琪研究員和他的合作者，長期致力於微細加工技術的開發與研究工作，曾獲得多項成果。本書集中反映了他們數十年來的經驗和體會，是一部理論與實踐密切結合的套用技術學術專著，對於從事微米納米級加工技術、微電子、光電子、微機械、納米器件等研究的科技人員，相關專業大專院校的教師、研究生和本科生都有重要的參考價值。
編輯推薦
本書系統地介紹了聚焦離子束技術的原理、發展歷史、系統分類和組成、重要分系統的設計、重要的套用實例和發展前景。為了使讀者有更多的了解，還介紹了國外先進的商品型FIB系統的性能指標。本書是電子束、離子束、光子束微納加工技術系列專著之一，可以作為從事微納加工和半導體積體電路製造行業的研究人員和工程技術人員的技術參考書，也可以作為高等院校相應專業教師和研究生的參考書。
目錄
前言
第一章聚焦離子束技術概論
第一節積體電路製造中的三束技術
一、電子束技術
二、光子束技術
三、離子束技術
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