《半導體微納製造技術及器件》是2020年科學出版社出版的圖書，作者是雲峰,李強,王曉亮。
《半導體微納製造技術及器件》是2020年科學出版社出版的圖書，作者是雲峰,李強,王曉亮。內容簡介本書基於課題組的研究成果和研究方向，對目前主流採用的半導體微納製造技術進行歸納，結合已得到驗證的理論進行部分機理的論述，結合...
微納製造技術是微感測器、微執行器、微結構和功能微納系統製造的基本手段和重要基礎。技術介紹 微納製造包括微製造和納製造兩個方面。(1)微製造 有兩種不同的微製造工藝方式，一種是基於半導體製造工藝的光刻技術、LIGA技術、鍵合技術、封裝技術等，這些工藝技術方法較為成熟，但普遍存在加工材料單一、加工設備昂貴等...
納米電子器件指利用納米級加工和製備技術，如光刻、外延、微細加工、自組裝生長及分子合成技術等，設計製備而成的具有納米級尺度和特定功能的電子器件。1背景介紹 納米技術是一門在0.1-100um 尺度空間內, 對電子、原子和分子的運動規律和特性進行研究並加以套用的高科技學科, 它的目標是用單原子、分子製造具有特定...
納米壓印技術是一種新型的微納加工技術。該技術通過機械轉移的手段，達到了超高的解析度，有望在未來取代傳統光刻技術，成為微電子、材料領域的重要加工手段。概念 納米壓印技術，是通過光刻膠輔助，將模板上的微納結構轉移到待加工材料上的技術。報導的加工精度已經達到2納米，超過了傳統光刻技術達到的解析度。這項...
2017年12月，《一種半導體MEMS晶片封裝方法及其封裝結構》獲得第十九屆中國專利優秀獎。（概述圖為《一種半導體MEMS晶片封裝方法及其封裝結構》摘要附圖）專利背景 各種半導體MEMS器件產品作為高品質感測器或者探測器在工業感測、圖象通信、消費電子、汽車工業、軍事工業等領域得到越來越多的套用。半導體MEMS產品製造技術是...
經營範圍包括以提升粵港澳大灣區納米技術、半導體等產業的自主創新能力為目標,致力於產業技術領域核心關鍵技術突破、共性技術研發、技術系統集成、工程化示範套用和產業化。開展納米新材料、納米器件與工藝的研究;相關領域套用技術開發;成果轉化;技術諮詢;培訓與服務。佛山乃至華南地區重大需求開展科技攻關與科技服務。
發光機理及微納尺度發光器件的製備三個方面開展研究，研究三維微納結構的選擇區域生長中的生長動力學問題，分析載流子在微納結構發光器件中不同位置的注入行為及發光機制，開發微納尺度GaN基發光器件的製備技術，實現高性能可獨立工作的單顆微納尺度GaN基發光器件的製備，為未來納米發光器件的實用化探索一條途徑。
3.脆性材料如硬質合金、玻璃、陶瓷、剛玉、矽/鍺等的複雜曲面精密加工裝備的自主研發及其加工技術研究；4.套用於光學、生物檢測等領域的納米關鍵器件的開發；5.微型工具機及金剛石刀具刃磨機等關鍵設備的自主開發研究； 6.微納器件的微注塑成型加工機理；7.微納製造器件的形貌精度測試分析、高解析度顯微分析及超精密...
《微納光電子器件功能集成和微細加工技術研究》是依託中山大學，由李寶軍擔任項目負責人的重大研究計畫。中文摘要 微結構光電子器件功能集成和微細加工技術是21世紀的研究重點，而納米光子學又是微結構光電子器件研究中的幾個熱點之一。如何將納米光子器件和微米量級光電子器件集成在一起、並套用於新一代光通信系統中...
第4章其他半導體器件156 41渡越時間器件（TTD）156 42轉移電子器件（TED）172 複習思考題186 參考文獻186 第5章微電子器件的計算機輔助分析（CAA）和計算機輔助設計（CAD）188 51微電子器件的模型189 52微電子器件的計算機輔助分析（CAA）192 53微電子器件的CAD技術206 54微電子器件CAA和CAD技術...
精密微納製造技術全國重點實驗室的前身為機械製造系統工程國家重點實驗室（State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering），於1989年立項；1995年10月通過驗收並對外開放運行；2022年建設成為精密微納製造技術全國重點實驗室。實驗室圍繞機械製造系統工程的前沿方向和國家需求，在學科前沿研究方面，重點在增材...
國內外的半導體照明領域的機構和科研院所都在致力於此類高端晶片產業化的研究和探索，雖然由於生產工藝複雜、產品良率低、以及成本過高因素的制約，仍有許多優異的高端產品和先進的製造技術被開發出來，極大地推動了功率型 LED 晶片的產業化進程。業界認為 LED 照明技術公認的發展路線為：發光效率從 2002 年的25lm/w ...
利用雷射製造三維半導體微納器件，特別是矽等窄帶隙三維半導體微納器件時，存在著材料吸收可見光而難以聚焦到材料內部和半導體材料折射率高而導致折射率失配等問題，這使得普通雷射製造技術和雙光束超衍射極限三維納米製造技術難以用來製造窄帶隙三維半導體微納器件。甘棕松提出雷射誘導窄帶隙半導體材料原位生成的方法，並在...
