《微納光電子器件功能集成和微細加工技術研究》是依託中山大學，由李寶軍擔任項目負責人的重大研究計畫。
《微納光電子器件功能集成和微細加工技術研究》是依託中山大學，由李寶軍擔任項目負責人的重大研究計畫。中文摘要微結構光電子器件功能集成和微細加工技術是21世紀的研究重點，而納米光子學又是微結構光電子器件研究中的幾個熱點之一。...
中國科學院微電子研究所納米加工與新器件集成技術研究室主要從事下一代先進新型存儲器、碳基電子器件及集成、衍射光學元件、新型感測器、先進光學掩模製造與納米加工技術等基礎前沿領域研究,是國內最早開展微納光刻與納米加工技術研究的單位之一。研究室擁有一支在領域內有影響力的科研團隊,擁有深厚的技術積累和...
研究方向 (1)先進的納米光刻技術研究（包括深紫外雷射直寫、電子束光刻、X射線光刻、193nm光學光刻等）；(2)納米尺度深紫外光學元件的設計、製造、檢測及套用研究。納米加工與新器件集成實驗室是國內最早開展亞微米微細加工技術的研究室，在深亞微米微細加工技術方面一直保持著國內領先的地位和自主創新的特色，同...
《微細加工與微納加工技術及套用》是2021年化學工業出版社出版的圖書，作者是趙波、李伯民、李清。內容簡介 微細加工與微納加工技術是當前發展*快的技術之一，已廣泛套用於機械、微電子、材料、機電、化工、能源、航空航天、通信、生物技術、醫療衛生、軍事等領域。本書綜合了近年來機械微加工和微納加工領域的國內外...
從事科學研究工作以來先後發表論文20餘篇，專利十餘項，其中代表性的論文如下：趙慧斌, 任權, 韓立 “聚醯亞胺薄膜表面微納米尺度下電荷特性的研究” 微細加工技術2007, 3 趙慧斌，任權，韓立 “PMMA薄膜nm尺度下表面電荷的製備和觀察”微納電子技術. 2007, 4 科研項目 2005年作為主要承擔人承擔自然科學基金重點系統...
實驗室以推動微細加工光學技術中關鍵科學和技術問題的實質性進步為目標,以基礎研究服務於國家重大戰略需求為宗旨,瞄準微納光學國際前沿,圍繞電磁波與微納結構相互作用,深入研究微納結構中電磁波的新現象及機理、微細結構的產生方法,形成新概念材料、微納光電子器件及系統等方面的基礎和套用基礎創新研究、...
微電子設備技術研究室是指進行微電子成套設備技術研究的科研機構。研究室簡介：微電子設備技術研究室的主要工作是綜合利用微電子研究所微電子工藝優勢和多年的設備研製經驗進行微電子成套設備技術研究，以實現微電子設備國產化。主要的科研方向為：適用於32-22納米技術代新原理裝備研究；極大規模集成電路裝備及工藝研究；...
半導體光電子學是基於在半導體內操縱和控制光子運動的一門新的科學與技術,是研究半導體中光吸收及輻射發射,是國家信息基礎設施建設的關鍵課題。因此,實驗室的研究方向是以新一代光通訊、光信息處理等領域中的關鍵光電子器件(特別是以量子結構為基礎的器件)及其集成研究為重點,...
納米電子器件指利用納米級加工和製備技術，如光刻、外延、微細加工、自組裝生長及分子合成技術等，設計製備而成的具有納米級尺度和特定功能的電子器件。1背景介紹 納米技術是一門在0.1-100um 尺度空間內, 對電子、原子和分子的運動規律和特性進行研究並加以套用的高科技學科, 它的目標是用單原子、分子製造具有特定...
行政管理工作。學術委員會負責實驗室的發展規劃制定及其執行情況，指導實驗室建設。實驗室辦公室負責實驗室重大事務的決策與監督。根據重點實驗室研究目標及其所涉及的研究領域設定1個工程項目部、4個研究室（微納加工理論與技術研究室、微納製造裝備及功能部件研究室、微納加工工具研究室和微納器件研究室）。
研究方向 主要面向信息通訊方向的智慧型感測MEMS器件的功能材料研發和功能結構製備，涉及LIGA/準LIGA加工技術、UV－LIGA技術、電化學微加工技術、薄膜電子材料製備與微細加工技術、RF MEMS器件，Optical－MEMS器件、MEMS繼電器、MEMS感測器、MEMS+IC等諸多領域。發展歷史 上海市非矽微納集成製造專業技術服務平台依附於上海交通...
傳統的製造主要以常規的機電產品(如工具機、電機、汽車等)為對象。“光電子製造”的主要對象則包括信息產品(如集成電路)、太陽能電池、高效發光或照明器件、新型大面積高解析度顯示器、光通信器件、各種光電感測器等高科技器件和產品。丁玉成的研究團隊將微納製造技術引入光電子產品製造領域，開展了此類產品的納－微－宏跨...
法定代表人張亞非，公司經營範圍包括：從事電子元器件、立體集成電路、納米功能材料、光電子元器件、平板顯示器、信息記錄與存儲、納米感測器、太陽能電池、超級蓄電池、納濾器、量子器件、微納結構加工與器件科技領域內技術開發、技術諮詢、技術推廣、技術服務、技術轉讓；薄膜與微細技術研究；產品設計，工業設計；感測技術...
微納製造技術是指尺度為毫米、微米和納米量級的零件，以及由這些零件構成的部件或系統的設計、加工、組裝、集成與套用技術。傳統“宏”機械製造技術已不能滿足這些“微”機械和“微”系統的高精度製造和裝配加工要求，必須研究和套用微納製造的技術與方法。微納製造技術是微感測器、微執行器、微結構和功能微納系統...
獲理學碩士學位，同年進入中國科學院光電技術研究所微細加工光學技術國家重點實驗室工作至今，主要從事MEMS設計與檢測方面的研究工作。圖書目錄 前言 第1章 微納系統技術概述 第2章 微光學 第3章 MEMS概述 第4章 MOEMS 第5章 微細加工技術 第6章 NEMS概述 第7章 MEMS實例分析 ...
研究領域 飛秒雷射微納製造、雷射仿生微納製造、超快光子學和微納光子學。研究面向先進微納功能結構與器件國際學術前沿，探索飛秒雷射微納製造技術在三維光子集成、智慧型表面結構、微光學、微流控、微納電磁控制與感應、微納米光機電系統等領域的套用；發展基於飛秒（10秒）雷射的微納米結構與器件製備的新原理和新方法...
功能納米和分子器件的設計、微納加工和器件研究 條件刺激回響的分子材料的設計、合成及器件研究 碳納米管的可控生長及其在光電子學和生物檢測方面的套用 有機半導體材料的設計、合成和器件研究 有機無機複合材料的設計、合成和器件研究 有機無機納米結構的生長及相應的納米光電子學 主要成就 研究成果 2016年6月，郭雪...
多年來一直從事微電子機械系統（MEMS）感測器與執行器的設計、仿真與製造技術研究，並結合納米材料的特性研究，開展微納系統（NEMS/MEMS）器件的集成與套用開發研究。作為課題組長或主要人員先後完成了多項國家或省部級重大科研項目，如“863”、自然科學基金、上海市科委專項基金等，包括MEMS微機械加速度開關、電磁微機械...
目前其研究領域為非矽MEMS微加工技術、植入式生物微系統、微流控晶片和RF-MEMS等。陳迪教授是中國儀器儀表學會微納器件與系統技術分會常務理事，全國微機電技術標準化技術委員會委員，《微納電子技術》、《納米技術與精密工程》、《微細加工技術》《功能材料與器件學報》編輯委員會委員。出版圖書 ...
並在微能源、微慣性器件等方面形成了研究特色，在國內率先建立了微機電系統集成設計平台，經鑑定達到國際先進水平，在系統級模型功能的微尺度條件下的空氣阻尼行為建模等方面達到國際領先水平，部分研究成果已套用於國防型號工程，並獲國防科學技術二等獎2項。
研究領域 飛秒雷射微納製造、雷射仿生微納製造、超快光子學和微納光子學。研究面向先進微納功能結構與器件國際學術前沿，探索飛秒雷射微納製造技術在三維光子集成、智慧型表面結構、微光學、微流控、微納電磁控制與感應、微納米光機電系統等領域的套用；發展基於飛秒（10秒）雷射的微納米結構與器件製備的新原理和新方法...
羅先剛主要研究微納尺度、亞波長尺度下電磁行為特性規律，包括電磁波超衍射傳輸、局域、極化、吸收和輻射調製等，發展具有特定功能的人工結構材料和器件原理方法，研究相關設計、分析、加工和表征分析方法和技術，構建以微納光學、人工結構材料為核心的光機電功能模組和系統，促進微納光學技術發展，以及在輕量化成像、超...
2007年3月，任中國科學院微電子研究所所長、中國科學院物聯網研究發展中心主任。2007年7月—2020年，任中國科學院微 電 子研究所所長、研究員。2019年，當選為國際歐亞科學院院士。主要成就 科研成就 科研綜述 葉甜春主要從事集成電路製造技術、新型器件及微細加工技術領域的研究工作，作為課題負責人和骨幹完成了中國...
機械工程專業導論、數控加工技術/數位化製作DIY、機械製造基礎（全英授課）主講研究生課程：機械工程研究生專業英語 研究方向 離子束電子束微納加工、微納器件微納機器人、微細電加工、工業及康復機器人 （深圳大學半導體製造研究院 博士後科研人員&專職研究人員募集中。有意應聘者，請發信信箱聯繫）學術成果 主持項目...
1991 － 1992 日本海外技術者研修協會（AOTS）資助 博士後研究；1982 － 1983 航天工業部695廠工作；研究領域 微納製造，涉及微細電加工工藝與裝備、微流控器件、超精密切削加工及其套用。研究概況 （1）微細電加工工藝與裝備在微細電火花加工技術研究上，開發出精密微細電極及高深寬比微細孔的新工藝、基於放電...
沈天慧最早論文發表是1988年在微電子學與計算機（期刊）上的VLSI工藝技術——五、超微細加工一文。截至2004年在微電子學與計算機、微細加工技術、上海交通大學學報等期刊上共發文14篇，其部分論著如下：[1]沈天慧.化學在集成電路中的作用[J].化學通報,1984（10）:3-4.[2]汪師俊,蔡琪玉,沈天慧.光化學氣相澱積...
發明了飛秒雷射電子動態調控制孔、調平、刻型等新技術，研製了其新裝備，攻克了難加工材料高深徑比超高質量微細制孔、超高精度質量調平、三維微刻型等製造難題，服務於37個國家重大科技工程/裝備。作為項目負責人承擔科技部973項目、國家重大科技專項課題、國家自然科學基金委重大研究計畫集成項目和重點項目、國家傑出...
