微細加工光學技術國家重點實驗室（中國科學院光電技術研究所）

微細加工光學技術國家重點實驗室依託單位為中國科學院光電技術研究所。實驗室於1991年由國家計委批准建設成立。1993年12月，經國家計委各國科學院批准對外開放，並1996年通過國家驗收。

基本介紹

• 中文名：微細加工光學技術國家重點實驗室
• 建立時間：1991年
• 機構管理：中國家科學院光電技術研究所
• 行政隸屬：中科院

簡要概況

微細加工光學技術國家重點實驗室依託單位為中國家科學院光電技術研究所。實驗室於1991年由國家計委批准建設成立。1993年12月，經國家計委各國科學院批准對外開放，並1996年通過國家驗收。實驗室主任為羅先剛研究員，本屆學術委員會主任為周炳琨院士。

研究領域

實驗室以推動微細加工光學技術中關鍵科學和技術問題的實質性進步為目標，以基礎研究服務於國家重大戰略需求為宗旨，瞄準微納光學國際前沿，圍繞電磁波與微納結構相互作用，深入研究微納結構中電磁波的新現象及機理、微細結構的產生方法，形成新概念材料、微納光電子器件及系統等方面的基礎和套用基礎創新研究、人才培養和科普教育基地。

目前實驗室主要開展微納光學及亞波長光學、微光學與微系統、微納加工技術及裝備、高分辨成像及光譜技術四個方向的研究。研究內容包括：亞波長人工結構材料、超衍射光學、視光學波前工程、微納光學、微細加工技術及裝備、MEMS技術、193nm光刻、輕量化高分辨成像等。

交流合作

微細加工光學技術國家重點實驗室與本領域國內外數十餘家科研院所、大專院校有良好的合作關係。與英國曼切斯特大學、美國伯克利大學、新加坡國立大學、英國盧瑟福國家重點實驗室、瑞士蘇黎世CSEM實驗室和美國SUPERARRAY公司以及四川大學、中國科學院微電子中心、上海技物所等單位在微光學、微電子光學及其套用開展了卓有成效的合作交流。

項目成果

我室科研經費逐年遞增，並取得了一批高水平研究成果：建立了具有特色的微光學技術研究平台，以實驗室提出的移動掩膜曝光法為基礎，通過最佳化設計和發展新工藝，解決了光刻過程中多種微浮雕結構的高保真傳遞，製作出大數值孔徑、從紅外到紫外的寬波段、深浮雕、非球面、高填充因子的微列陣元件，實現了小系統集成。研製成功用於哈特曼波前感測器、紅外焦平面探測器中的光聚能器以及半導體雷射器的波面整形的列陣元件，為國家863高技術發展做出了貢獻。衍射微透鏡列陣實用化研究達到了國內領先、國際先進水平。面向航天事業發展的需求，在國內首次將折衍混合光學系統的研究成果套用於航天光學系統。折衍混合成像光學系統具有視場大、重量輕、無畸變和溫度適應能力強等特點；用於空間成像折衍混合成光學系統，其透過率為傳統光學系統的2.2倍，作用距離提高一倍。實驗室研製的星敏感器，可使衛星姿軌控制精度提高近1個數量級，這些研究成果在軍事、航天以及民用領域有著廣闊的套用前景。堅持不懈地研究微電子光刻關鍵單元技術。突破了大數值孔徑光刻物鏡的設計和研製、均勻照明系統、高精度同軸對準和工件台定位等高難度的單元技術，使我國成為世界上能研製生產g線、i線大數值孔徑投影光刻物鏡的少數國家之一，該項成果獲得中國科學院科技進步一等獎，並成功研製出國內首台0.8μm投影光刻機，獲國家科技進步三等獎，為我國微電子裝備的發展提供了技術基礎。實驗室還深入系統地開展了波前工程的研究, 利用準分子光刻系統，採用相移掩模技術使解析度從0.5μm提高到0.3μm；開展了原子力光刻技術前瞻性研究，取得良好進展。1997年以來，獲得國家科技進步獎三等獎1項，中國科學院科技進步獎一等獎1項，三等獎1項，中國科學院自然科學獎三等獎1項，四川省科技進步三等獎1項。受理髮明專利20件、授權實用新型專利24件。在國內外核心科技刊物及各類會議上發表學術論文260餘篇。

經過2012年新一輪的國家評估後，實驗室陸續制訂了一系列有關人才引進、高水平科研成果和管理機制等方面的戰略規劃，面向微光學、折衍混合光學和微電子光學技術國家重大需求，面向信息領域的國際高科技前沿，爭取將實驗室建設成為微光學、微電子光學技術創新的國際一流研究基地和培養高水平研發人才的基地。