微納製造技術是指尺度為毫米、微米和納米量級的零件，以及由這些零件構成的部件或系統的設計、加工、組裝、集成與套用技術。傳統“宏”機械製造技術已不能滿足這些“微”機械和“微”系統的高精度製造和裝配加工要求，必須研究和套用微納製造的技術與方法。微納製造技術是微感測器、微執行器、微結構和功能微納系統製造的基本手段和重要基礎。
基本介紹
- 中文名：微納製造技術
- 出處：先進制造技術
技術介紹
微納製造包括微製造和納製造兩個方面。
(1)微製造 有兩種不同的微製造工藝方式，一種是基於半導體製造工藝的光刻技術、LIGA技術、鍵合技術、封裝技術等，這些工藝技術方法較為成熟，但普遍存在加工材料單一、加工設備昂貴等問題，且只能加工結構簡單的二維或準三維微機械零件，無法進行複雜的三維微機械零件的加工;另一種是機械微加工，是指採用機械加工、特種加工及其他成形技術等傳統加工技術形成的微加工技術，可進行三維複雜曲面零件的加工，加工材料不受限制，包括微細磨削、微細車削、微細銑削、微細鑽削、微衝壓、微成形等。
(2)納製造 納製造是指具有特定功能的納米尺度的結構、器件和系統的製造技術，主要分為兩種方向，一種以微製造為基礎向其製造精度的極限逼近，達到納米加工的能力，另一種採用新物理效應對納米量級進行操控制造，納米製造包括納米壓印技術、刻劃技術、原子操縱技術等。
