定向自組裝光刻

定向自組裝光刻（Directed Self-Assembly ，DSA）是誘導光刻材料在矽片上自發形成有序結構的一種技術。

基本介紹

• 中文名：定向自組裝光刻
• 外文名：Directed Self-Assembly,DSA
• 定義：誘導光刻材料在矽片上自發形成有序結構的一種技術

自組裝（self-assembly），是指基本結構單元（分子，納米材料，微米或更大尺度的物質）自發形成有序結構的一種技術。在自組裝的過程中，基本結構單元在基於非共價鍵的相互作用下自發的組織或聚集為一個穩定、具有一定規則幾何外觀的結構。自組裝具有4個特徵：

（1） 由個體集合形成整體組織或系統的過程是自發的、自動的；

（2） 個體之間的結合是非共價鍵力的結合；

（3） 組成整體組織或系統的個體必須能夠自由運動或遷移；

（4） 自組裝形成的整體組織或系統是個體相互作用的熱力學平衡或能量平衡的結果；

嵌段共聚物定向自組裝光刻技術（Directed Self-Assembly of Block Copolymer Lithography ）簡稱DSA 採用的是化學性質不同的兩種單體聚合而成的嵌段共聚物作為原材料，在熱退火下分相形成納米尺度的圖形，再通過一定的方法將圖形誘導成為規則化的納米線或納米孔陣列，從而形成刻蝕模板進行納米結構的製造。與其他一些技術相比，DSA因為無需光源和掩膜版，具有低成本、高解析度、高產率的優勢，正逐漸得到人們的廣泛關注，包括Intel、IBM、IMEC在內的眾多國際公司與研究機構已對此項技術開展了相應的研究。