製圖外延定向自組裝是嵌段共聚物定向自組裝的一種方式。與化學外延方式的DSA不同，嵌段共聚物在具有限制性的溝槽里，會根據共聚物本身的自然周期和限制溝槽的性質進行定向自組裝。由於這種方式的定向自組裝具有很好的對準精度，所以非常適合通孔圖形的製備。 基本介紹 中文名：製圖外延定向自組裝外文名：graphoepitaxy-DSA 如圖1所示，引導溝槽的製備使用傳統的光刻方法，例如193浸入式光刻，對製造出來的引導溝槽的底部或者側壁進行化學修飾，使其對二嵌段共聚物中的某種嵌段具有優先濕潤性，這樣經過退火後，根據嵌段共聚物的自然周期，得到通孔的結構，兩個通孔之間的距離即為共聚物的自然周期，然後經過選擇性刻蝕，將通孔圖形轉移到基底上。圖1 製圖外延方式的定向自組裝示意圖
