分子束外延聯合系統

分子束外延聯合系統是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2015年9月21日啟用。

基本介紹

• 中文名：分子束外延聯合系統
• 產地：德國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2015年9月21日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

技術指標

背景真空5E-10 mBar，可生長4寸樣品，可同時生長IV和III-V族材料。

主要功能

具有IV族和III-V族雙腔的MBE系統，適用於外延生長III-V族與IV族半導體低維量子材料，如量子點，納米線，量子阱等，可用的源材料包括：矽、鍺、錫、鋁、磷、硼、鎵、銦、砷、銻、鉍、碳。系統配備裂解氫源等用於表面處理，RHEED等用於原位表征，EIES等用於實時束流監控。整套系統兩個生長腔能夠獨立生長，同時也能交替生長III-V族和IV族的半導體低維量子材料。