介質電漿刻蝕設備

介質電漿刻蝕設備是一種用於信息科學與系統科學、電子與通信技術領域的分析儀器，於2019年4月29日啟用。

基本介紹

• 中文名：介質電漿刻蝕設備
• 產地：中國
• 學科領域：信息科學與系統科學、電子與通信技術
• 啟用日期：2019年4月29日
• 所屬類別：分析儀器 > 質譜儀器

技術指標

儀器儀表，計量標準器具及量具，衡器。

主要功能

使用基於物理轟擊和化學腐蝕相結合的手段，進行薄膜材料的刻蝕減薄，以及微納加工的圖形化工藝。