3D形貌測量儀

3D形貌測量儀

3D形貌測量儀是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的儀器,於2011年12月5日啟用。

基本介紹

  • 中文名:3D形貌測量儀
  • 產地:中國
  • 學科領域:工程與技術科學基礎學科
  • 啟用日期:2011年12月5日
技術指標,主要功能,

技術指標

測量範圍:100mm×100mm×100mm; 最大縱向解析度:10nm; 配置360度轉軸,可掃描物體的整體3D模型進行分析測量。

主要功能

 微觀幾何形狀尺寸測量,幾何結構參數無損測量。微觀表面形貌分析,微觀表面平面度、粗糙度、面粗糙度及表面缺陷的測量與分析。

相關詞條

熱門詞條

聯絡我們