雷射技術是20世紀與原子能、半導體及計算機齊名的四項重大發明之一.四十多年來,隨著小型電子產品和微電子元器件需求量的日益增長,對於加工材料(尤其是聚合物材料以及高熔點材料)的精密處理日漸成為雷射在工業套用中發展最快的領域之一.
基本介紹
- 中文名:雷射微加工
- 套用:微電子、微機械和微光學加工
- 特點:更精密、更準確、更迅速
- 工具:雷射
雷射技術是20世紀與原子能、半導體及計算機齊名的四項重大發明之一.四十多年來,隨著小型電子產品和微電子元器件需求量的日益增長,對於加工材料(尤其是聚合物材料以及高熔點材料)的精密處理日漸成為雷射在工業套用中發展最快的領域之一.
雷射技術是20世紀與原子能、半導體及計算機齊名的四項重大發明之一.四十多年來,隨著小型電子產品和微電子元器件需求量的日益增長,對於加工材料(尤其是聚合物材料以及高熔點材料)的精密處理日漸成為雷射在工業套用中發展最快的領域...
雷射精密微細加工系統是一種用於機械工程領域的工藝試驗儀器,於2015年12月12日啟用。技術指標 1、雷射系統:輸出波長:980-1070nm;平均輸出功率:215W@100KHZ;脈衝寬度:小於15PS;最大單脈衝能量:>0.1mJ;光束量:M2<1.3;2...
雷射加工是最先進的加工技術,它主要利用高效雷射對材料進行雕刻和切割,主要的設備包括電腦和雷射切割(雕刻)機,使用雷射切割和雕刻的過程非常簡單,就如同使用電腦和印表機在紙張上列印,在利用多種圖形處理軟體(CAD、CircuitCAM、CorelDraw...
根據雷射束與材料相互作用的機理,大體可將雷射加工分為雷射熱加工和光化學反應加工兩類。雷射熱加工是指利用雷射束投射到材料表面產生的熱效應來完成加工過程,包括雷射焊接、雷射雕刻切割、表面改性、雷射鐳射打標、雷射鑽孔和微加工等;光...
雷射微加工系統是一種用於力學、工程與技術科學基礎學科領域的工藝試驗儀器,於2012年12月28日啟用。技術指標 測量範圍徑向3.0m,球測試精度±0.046mm、錐測試精度±0.052mm,雷射掃描距離89~184mm、掃描精度0.05mm。主要功能 該...
雷射光刻是利用光學-化學反應原理等方法,將電路圖形刻印在介質表面,達到想要的圖形刻意功能的新型微細加工技術。光刻技術 積體電路製造中利用光學-化學反應原理和化學、物理刻蝕方法,將電路圖形傳遞到單晶表面或介質層上,形成有效圖形視窗...
1.2.1 飛秒雷射微加工光纖與微結構FBG套用狀況 10 1.2.2 飛秒雷射的光纖材質刻蝕機制研究進展 12 第2章 雷射加工前工序的面齒輪高速準乾切削機理及工藝 13 2.1 面齒輪高速準乾銑削加工方法與模型 13 2.1.1 高速準乾...
發動機氣缸表面雷射微加工裝置採用工件固定、雷射頭即旋轉又上下運動的加工方案,完全不受工件體積、質量所帶來的影響。雷射表面微造型技術大都採用脈衝雷射加工的方式,由於一個雷射脈衝所能去除的材料有限,為了達到表面形貌要求的深度,就...
準分子雷射微細加工技術是利用準分子雷射器進行加工工藝,準分子雷射器能夠發射各種不同的特別是紫外譜波段雷射(到已實現雷射振盪的雷射器,除少數XeO,KrO,ArO 等準分子產生綠帶雷射振盪外,輸出波長多分布在紫外、遠紫外和真空紫外波段,...
特別值得提出的是,由於飛秒雷射具有快速和高解析度特性,它在病變早期診斷、醫學成象和生物活體檢測、外科醫療及超小型衛星的製造上都有其獨特的優點和不可替代的作用。在微加工領域,由於其對材料周圍影響極小,能安全的切割,打孔、雕刻...
《一種雷射能量調節裝置及雷射微加工設備》是廣東正業科技股份有限公司於2016年2月4日申請的專利,該專利的申請號為2016100801511,公布號為CN105598582A,授權公布日為2016年5月25日,發明人是余廷勛、徐地華、郭萌祖、梅領亮、陳伯平。...
雷射加工工藝是利用雷射束與物質相互作用的特性,對材料(包括金屬與非金屬)進行切割、焊接、表面處理、打孔及微加工等的一門加工技術。雷射加工作為先進制造技術已廣泛套用於汽車、電子、電器、航空、冶金、機械製造等國民經濟重要部門,對...
飛秒雷射微加工系統是一種用於材料科學領域的儀器,於2017年02月01日啟用。技術指標 1.飛秒雷射波長: 1030 nm; 515 nm; 343 nm 2. 最高重複頻率: 1000 kHz 3. 脈寬:300 fs 4. 最高脈衝能量:85uJ 5. 三軸位移台定位精度...
多功能雷射微細加工系統是一種用於機械工程領域的儀器,於1970年01月01日啟用。技術指標 採用國產雷射器:雷射器波長:355nm,重複頻率:1-120KHz,脈寬:小於等於40ns 最大平均輸出雷射功率:8W,功率穩定性小於等於正負3%,壽命大於...
飛秒雷射微加工是一種用於機械工程領域的儀器,於2017年10月1日啟用。技術指標 平均功率≥400mW;最小頻寬≤10nm;重複頻率≥84MHz;噪聲≤0.05%;功率不穩定度≤0.5%;光束質量TEM00;脈衝寬度≤45fs;單脈衝能量≥13mJ;重複頻率...
而準分子雷射在高聚物、醫用彈性體材料、生物體組織的微細加工上具有獨特的優勢。針對目前研究較為活躍的PCR晶片,探索採用準分子雷射進行微加工制韉幕懟⒎椒ㄓ牘ひ眨允迪指美嘈酒燜佟⒖煽糠獎闃迫〉墓瓜搿 ...
《用雷射輔助微細加工技術製作單片OEICs》是依託電子科技大學,由葉玉堂擔任醒目負責人的面上項目。項目摘要 本項目擬採用新穎的雷射微細加工技術製作單片OEIC,利用其低溫處理,直接寫入等獨特優勢,可將同一基片上難以兼容的電、光兩部分...
雙光子聚合加工原理與過程 通過單光子過程與雙光子過程引發光聚合進行微加工時, 雷射與光敏材料的相互作用區域存在較大區別.當入射光經透鏡聚焦到材料表面或內部時, 由於單光子吸收過程中所使用的光子能量較高, 光子所到之處均可以進行單...
飛秒雷射微加工虛擬仿真實驗是山東師範大學建設的虛擬仿真實驗課程。課程性質 課程背景 飛秒雷射微加工是當今雷射科學技術最活躍的研究前沿之一。在我國,飛秒雷射微加工仍是雷射產業的“卡脖子”問題,培養越來越多相關領域的人才勢在必行。...
《飛秒雷射微加工技術在製備檢測晶片中的套用研究》是依託中國科學院上海光學精密機械研究所,由孫海軼擔任項目負責人的青年科學基金項目。項目摘要 微晶片實驗室器件的出現是近年來高新技術領域中極具時代特徵的重大進展,是物理學、化學、...
飛秒雷射微納加工系統是一種用於信息科學與系統科學領域的工藝試驗儀器,於2016年10月8日啟用。技術指標 輸出中心波長 765~825nm;振盪器輸出種子光脈衝寬度≦20 fs,平均輸出功率>900mW,重複頻率75~80MHz;放大器輸出脈衝寬度≦50 fs...
皮秒雷射精密微細加工系統 皮秒雷射精密微細加工系統是一種用於材料科學領域的雷射器,於2015年12月1日啟用。技術指標 1064nm16w/532nm8w/355nm4w。主要功能 材料微加工。
紫外雷射精細微加工設備是一種用於信息科學與系統科學領域的科學儀器,於2016年11月1日啟用。技術指標 雷射波長:優於355nm; 平均功率:優於7W;加工精度:優於±15um;加工幅面:200mm×200mm;鑽孔直徑:0.05-45mm(出孔);單孔...
本項目的研究成果對於提高微細加工技術的加工效率和加工質量,促進微細加工技術的創新和發展具有重要的理論意義與實際套用價值。結題摘要 本項目融合水射流和雷射加工技術於一體,提出了雷射輔助水射流近無損傷微細加工理論與技術,研製了...
第1章超快雷射加工概述 第2章超快雷射技術簡介 第3章超快雷射脈衝時空整形 第4章超快雷射對材料的表面處理 第5章基於雙光子聚合的飛秒雷射三維直寫 第6章透明介電材料內部的三維光子學集成 第7章飛秒雷射直寫製備微流控晶片和集成...
《飛秒雷射濕法刻蝕微納製造的基礎研究》是依託西安交通大學,由陳烽擔任項目負責人的重點項目。中文摘要 飛秒雷射微加工作為一種新型高能束微納製造技術,在複雜三維構型製作方面具有其獨特的優勢,但雷射加工效率的問題嚴重製約了飛秒雷射微...