雷射精密微細加工系統

雷射精密微細加工系統是一種用於機械工程領域的工藝試驗儀器，於2015年12月12日啟用。

基本介紹

• 中文名：雷射精密微細加工系統
• 產地：中國
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2015年12月12日
• 所屬類別：工藝試驗儀器

技術指標

1、雷射系統：輸出波長：980-1070nm；平均輸出功率：215W@100KHZ；脈衝寬度：小於15PS；最大單脈衝能量：＞0.1mJ；光束量：M2＜1.3；2、倍頻輸出光路系統：諧波轉換效率：50%（SH），25%（TH）；3、加工過程監視檢測系統：同軸/旁軸（CCD）相機影像系統，具有焦距自適應調整功能，視覺單元放大倍10X-500X可調。鑽孔（旋切）光學模組設計：最小聚焦光斑＜15~3um，最小加工孔徑≤10um;鑽孔錐度可調，光學旋切系統旋轉速度3000轉／分。三維掃描振鏡模組設計：振鏡指標：掃描速度：大於3m/s，解析度：≤l5urad；重複定位精度：≤25urad；入光孔徑：≥29mm；掃描角度; ±0.35rad，場鏡指標： f=63mm/100 mm /163 mm/254mm。

主要功能

該實驗平台搭載超快雷射系統、二倍頻/三倍頻系統、光束整形系統、同軸（CCD）相機監視系統、鑽孔光學模組、切割頭及旋切光學模組、掃描振鏡模組、多光束並行加工模組、數控移動系統和軟體控制系統，可實現基頻、兩倍頻、三倍頻超快雷射的切割頭加工、旋切加工、三維振鏡掃描加工、多光束並行加工等功能；配有加工過程監視檢測系統，可實現高精度定位和加工過（CCD）相機線上跟蹤、檢測監控等功能;配有高精度定位的工作檯系統，可在固體材料（半導體材料、玻璃材料、金屬材料陶瓷材料、聚合物材料、非金屬材料等）和液體材料（凝膠、金屬離子水溶液，光學樹脂等有機溶液）等多種材料的平面、斜面、曲面上進行直孔、斜孔、階梯孔、錐度孔。