超快雷射微納加工：原理、技術與套用

內容簡介

超快雷射微納加工是指通過皮秒或飛秒雷射脈衝與材料相互作用，對材料進行高品質結構加工或改性的一門尖端技術，具有加工精度高、熱效應小、獨特的三維微納加工能力以及被加工材料多樣性等顯著優勢，在基礎科學與現代工業中均獲得了廣泛套用。本書重點介紹超快雷射微納加工的背景與原理，超快雷射的特性與技術發展現狀，超快雷射脈衝時空整形，超快雷射對材料的表面處理，基於雙光子聚合的飛秒雷射三維直寫，透明介電材料內部的三維光子學集成，飛秒雷射直寫製備微流控晶片和集成光流器件，以及超快雷射加工在現代工業中的套用。

圖書目錄

叢書序

序言

前言

第1章超快雷射加工概述

第2章超快雷射技術簡介

第3章超快雷射脈衝時空整形

第4章超快雷射對材料的表面處理

第5章基於雙光子聚合的飛秒雷射三維直寫

第6章透明介電材料內部的三維光子學集成

第7章飛秒雷射直寫製備微流控晶片和集成光流器件

第8章超快雷射加工在現代工業中的套用

超快雷射微納加工：原理、技術與套用

基本介紹

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