離子濺射

離子濺射,一種物理氣相沉積的方法。在真空室內通入(0.1~1.0)×106帕的惰性氣體(如氬),使之在高壓下輝光放電,氣體離子在強電場作用下轟擊膜料製成的陰極靶,使表面的原子被濺射出來,沉積在基體上成膜。

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