基本介紹
- 中文名:濺射
- 外文名:sputtering; spurting; disintegration; spotter
- 拼音:jiàn shè
- 釋義:成飛散的點滴地噴或射出
濺射對於遠程有彈道英雄就像分裂斬對於近戰英雄,它和分裂斬有相似也有不同的地方。最大的不同在於AoE在彈道擊到的目標處決定,而不是分裂斬由攻擊者站立的地方確定...
濺射工藝是以一定能量的粒子(離子或中性原子、分子)轟擊固體表面,使固體近表面的原子或分子獲得足夠大的能量而最終逸出固體表面的工藝。濺射只能在一定的真空狀態下...
濺射方法是一種利用濺射原理及技術處理加工材料表面的現代技術方法。濺射,也稱陰極濺射,其基本原理是:在直流或射頻高壓電場的作用下利用形成的離子流轟擊陰極靶材料...
濺射現象,外文名sputtering phenomenon,是一種物理學現象。...... 濺射現象sputtering phenomenon用具有一定能量的離子束或中性原子束轟擊固體,會引起固體表面分子、原子...
直流濺射是指利用直流輝光放電產生的離子轟擊靶材進行濺射鍍膜的技術。直流濺射裝置主要由真空室、真空系統和直流濺射電源構成。...
磁控濺射是物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition,PVD)的一種。一般的濺射法可被用於製備金屬、半導體、絕緣體等多材料,且具有設備簡單、易於控制、鍍膜面積大和附著...
等離子濺射(plasma sputtering)物質除固態、液態和氣態之外,還有第四態,即等離子態。在外界高能作用下,分子或原子被離解成陽離子及同等數量的陰離子或電子,這一總體...
當真空室內的真空度為13Pa時,在陰陽兩電極之間加上一定的電壓,氣體就會發生自激放電,從陰極發射出的原子或原子團可沉積在陽極或真空室的壁上。這種濺射就稱為陰極...
射頻濺射是利用射頻放電電漿中的正離子轟擊靶材、濺射出靶材原子從而沉積在接地的基板表面的技術。射頻濺射: 用交流電源代替直流電源就構成了交流濺射系統, 由於...
濺射鍍膜技術是用離子轟擊靶材表面,把靶材的原子被擊出的現象稱為濺射。濺射產生的原子沉積在基體表面成膜稱為濺射鍍膜。通常是利用氣體放電產生氣體電離,其正離子在...
磁控濺射法是在高真空充入適量的氬氣,在陰極(柱狀靶或平面靶)和陽極(鍍膜室壁) 之間施加幾百K 直流電壓,在鍍膜室內產生磁控型異常輝光放電,使氬氣發生電離。...
磁控濺射原理:電子在電場的作用下加速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞,電離出大量的氬離子和電子,電子飛向基片。氬離子在電場的作用下加速轟擊靶材,濺射出大量的...
反應濺射是指在存在反應氣體的情況下,濺射靶材時,靶材會與反應氣體反應形成化合物(如氮化物或氧化物),在惰性氣體濺射化合物靶材時由於化學不穩定性往往導致薄膜較...
濺射靶材的要求較傳統材料行業高,一般要求如,尺寸、平整度、純度、各項雜質含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸與缺陷控制;較高要求或特殊要求包含:表面粗糙度、電阻...
濺射鍍 sputtering depositsnn 用荷能粒子(通常為氣體止離子)轟擊靶材,使靶材表面部分原子逸出的現象r.若把零件放在靶材附近酌適當位置上,則從靶材飛出的原子便會...
真空磁控濺射技術是指一種利用陰極表面配合的磁場形成電子陷阱,使在E×B的作用下電子緊貼陰極表面飄移。設定一個與靶面電場正交的磁場,濺射時產生的快電子在正交的...
中文名稱 濺射沉積 英文名稱 sputtering deposition 定義 用高能粒子轟擊靶材,使靶材中的原子濺射出來,沉積在基底表面形成薄膜的方法。 套用學科 材料科學技術(一級...
離子濺射鍍膜法是離子濺射形成干涉膜是增進相間襯度顯示組織的新方法。...... 離子濺射鍍膜法是離子濺射形成干涉膜是增進相間襯度顯示組織的新方法。離子濺射鍍膜法...
中文名稱 離子束濺射 英文名稱 ion beam sputtering 定義 利用離子源產生一定能量的離子束轟擊置於高真空中的靶材,使其原子濺射出來,沉積在基底成膜的過程。 ...
磁控濺射隔熱膜又稱磁控濺射金屬膜,採用多層磁控濺射工藝打造而成,以持久反射隔熱的出色性能而著稱。由於其高清晰、高隔熱、高穩定、低內反光、色澤純正、永不退色...
磁控濺射鍍膜是指將塗層材料做為靶陰極,利用氬離子轟擊靶材,產生陰極濺射,把靶材原子濺射到工件上形成沉積層的一種鍍膜技術。...
中文名稱 磁控濺射鍍 英文名稱 magnetron sputtering 定義 採用磁場束縛靶面附近電子運動的濺射鍍。 套用學科 機械工程(一級學科),表面工程(二級學科),氣相沉積(...
脈衝磁控濺射是採用矩形波電壓的脈衝電源代替傳統直流電源進行磁控濺射沉積。脈衝濺射可以有效地抑制電弧產生進而消除由此產生的薄膜缺陷,同時可以提高濺射沉積速率,降低...