複合多功能離子鍍膜設備

複合多功能離子鍍膜設備是一種用於機械工程領域的工藝試驗儀器，於2016年6月24日啟用。

基本介紹

• 中文名：複合多功能離子鍍膜設備
• 產地：中國
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2016年6月24日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備

技術指標

真空室內腔尺寸暫定為600mm450mm；極限真空優於8×10-5Pa；鎧裝不鏽鋼加熱管加熱，最高加熱溫度350度；孿生靶磁控濺射沉積TiN塗層的沉積速率1um/h等。

主要功能

磁控濺射離子鍍膜、多弧離子鍍膜及PCVD製備各種複合塗層。