複合鍍膜系統

複合鍍膜系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2009年10月31日啟用。

基本介紹

• 中文名：複合鍍膜系統
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2009年10月31日
• 所屬類別：工藝試驗儀器

技術指標

極限真空度：≤4x10-5 Pa (經12小時烘烤除氣後)； 系統真空檢漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S； 系統從大氣開始抽氣，60分鐘可達到5x10-4 Pa；。

主要功能

鍍膜。