多功能多元有機無機複合薄膜鍍膜系統

多功能多元有機無機複合薄膜鍍膜系統是一種用於物理學領域的工藝試驗儀器，於2009年11月28日啟用。

基本介紹

• 中文名：多功能多元有機無機複合薄膜鍍膜系統
• 產地：中國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2009年11月28日
• 所屬類別：工藝試驗儀器

技術指標

腔體尺寸450mm*450mm，極限真空度達到5.0E-7Pa，真空漏率12小時高於5Pa。

主要功能

該儀器能夠製備金屬、氧化物和各種介質、磁性材料薄膜，薄膜厚度能夠控制在納米量級。