表面光學檢測儀

表面光學檢測儀是一種用於材料科學領域的計量儀器，於2016年06月28日啟用。

基本介紹

• 中文名：表面光學檢測儀
• 產地：美國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2016年06月28日
• 所屬類別：計量儀器 > 光學計量儀器

技術指標

1 平台及其控制部分：宏微驅動方式（1）高強度機架結構配有100mm垂直掃描範圍的控制系統（2）X-Y軸雙向移動樣品測試台，行程範圍 150mm x 120mm，解析度達到0.1μm（3）驅動箱移動速度：(0.1～9)mm/sec（4）測量速度：(0.1～3)mm/sec（5）測頭間轉換使用自動鼻輪2 白光干涉測頭部分（1）高精密Z軸移動控制：(0~10)mm（2）4色（白、綠、藍、紅）高亮度LED光發射源（3）5M低噪音／高像素數字相機（4）針尖-樣品傾斜階段：6度可調（5）尼康5。

主要功能

高精度3D微結構、高度結構的精確測量。