光學測量儀

光學測量儀是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2012年6月5日啟用。

基本介紹

• 中文名：光學測量儀
• 產地：美國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2012年6月5日
• 所屬類別：分析儀器 > 熱分析儀器

技術指標

測量範圍（XYZ）：三維測量300*150*150；XYZ軸解析度：0.5μm；重複精度：0.5μm；變焦鏡：6.5：1，自動；高速高精度伺服馬達控制系統，位移速度400mm/S。

主要功能

用三維影像檢測各種複雜精密零部件的輪廓和表面形狀尺寸、角度及位置。