光學面形測量系統

光學面形測量系統是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的物理性能測試儀器，於2016年9月3日啟用。

基本介紹

• 中文名：光學面形測量系統
• 產地：中國
• 學科領域：工程與技術科學基礎學科
• 啟用日期：2016年9月3日
• 所屬類別：物理性能測試儀器 > 光電測量儀器

技術指標

光學元件輪廓測量，面形測量精度優於1/10波長 軸向分辨力：1/10波長。

主要功能

光學面形測量系統是非接觸式3D表面輪廓形貌測量系統。可以對各種不同的樣品進行測量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理，以及納米至毫米級別的台階高度。也是一種高端顯微鏡，可用於樣品復檢或自動缺陷檢測。提供全面的台階高度、粗糙度和薄膜厚度的測量以及缺陷檢測功能，適用於研發及生產環境。