光學表面檢測系統

光學表面檢測系統是一種用於信息與系統科學相關工程與技術領域的科學儀器，於2018年3月2日啟用。

基本介紹

• 中文名：光學表面檢測系統
• 產地：中國
• 學科領域：信息與系統科學相關工程與技術
• 啟用日期：2018年3月2日

技術指標

TEO8060適用最大產品尺寸範圍680mm*640mm*100mm。TEO8060平台尺寸： 810*810mm。TEO8060平台高度一致性：5um@100mm*100mm。TEO8060掃描機構平整度：5um@100mm*100mm。TEO8060具有自動Z軸測量功能輔助工件安裝平面的調整，測量精度：優於±3um。TEO8060完成600mm*600mm自動面陣檢測時間≤1.7小時。（相機行頻30K，掃描精度1um，視野3mm，算法+機械運動時間0.5倍，檢測時間=(X檢測範圍/行頻)*(Y檢測範圍/視野)*倍=(600,000/30,000) * (600 / 3) * 1.5=6000秒≈1.67小時）。

主要功能

可以滿足大口徑波前校正器鏡面微小瑕疵的線上檢測的需求。