Mirau型表面粗糙度檢測系統的研製和超高光學分辨術研究

Mirau型表面粗糙度檢測系統的研製和超高光學分辨術研究,丁志華著,導師王之江院士,王桂英教授指導,學科專業光學儀器

副題名
外文題名
The Development of Mirau Type Microscopic Interferometer for Surface Roughness and the Study of Superresolution
論文作者
丁志華著
導師
王之江院士,王桂英教授指導
學科專業
光學儀器
學位級別
d 1996n
學位授予單位
中國科學院上海光學精密機械研究所
學位授予時間
1996
關鍵字
表面粗糙度檢測 位相檢測 光學超高分辨術
館藏號
唯一標識符
108.ndlc.2.1100009031010001/T3F24.012002632443
館藏目錄
BSLW 1999 TG84 6\ \

相關詞條

熱門詞條

聯絡我們