能量色散X射線螢光光譜技術

能量色散X射線螢光光譜採用脈衝高度分析器將不同能量的脈衝分開並測量。能量色散X射線螢光光譜儀可分為具有高解析度的光譜儀，解析度較低的攜帶型光譜儀，和介於兩者之間的台式光譜儀。高解析度光譜儀通常採用液氮冷卻的半導體探測器，如Si(Li)和高純鍺探測器等。低分辨攜帶型光譜儀常常採用正比計數器或閃爍計數器為探測器，它們不需要液氮冷卻。近年來，採用電致冷的半導體探測器，高解析度譜儀已不用液氮冷卻。同步輻射光激發X射線螢光光譜、質子激發X射線螢光光譜、放射性同位素激發X射線螢光光譜、全反射X射線螢光光譜、微區X射線螢光光譜等較多採用的是能量色散方式。