基本介紹
- 中文名:矽感測器
- 用途:醫學、軍事航空航天、工業和汽車
- 特點:更精確、更可靠
- 原理:半導體的壓阻效應和微機械加工
矽感測器,是用於醫學、軍事與航空航天、工業和汽車套用。基本原理是利用半導體的壓阻效應和微機械加工技術,在單晶矽片的特定晶向上,用光刻、擴散等半導體工藝製做一惠斯登電橋,形成敏感膜片,當受到外力作用時產生微應變,電阻率發生...
矽溫度感測器,當兩個相同的電晶體在集電極電流密度比恆定的情況下工作時,它們的基極-發射極電壓差僅與絕對溫度成正比。其他的溫度感測器則基於採用二極體接法的電晶體的基極-發射極電壓VBE的行為,此VBE隨著溫度反向變化,這個變化速率非常...
集成感測器是採用矽半導體集成工藝而製成的感測器,因此亦稱矽感測器或單片集成感測器。模擬集成感測器是在20世紀80年代問世的,它是將感測器集成在一個晶片上、可完成測量及模擬信號輸出功能的專用IC。模擬集成感測器的主要特點是功能單一(僅...
矽壓阻式壓力感測器是利用單晶矽的壓阻效應製成的。在矽膜片特定方向上擴散4個等值的半導體電阻,並連線成惠斯通電橋,作為力——電變換器的敏感元件。當膜片受到外界壓力作用,電橋失去平衡時,若對電橋加激勵電源(恆流和恆壓),便可...
矽膜盒電容式氣壓感測器。其主要部件為變容式真空矽膜盒。固態壓阻式感測器是利用壓阻效應製成的矽單晶膜片式結構的壓強感測器。矽膜盒電容式氣壓感測器 矽膜盒電容式氣壓感測器。其主要部件為變容式真空矽膜盒。感測器的基板是一個厚...
矽微加速度感測器是繼微壓力感測器之後第二個進入市場的微機械感測器。其主要類型有壓阻式、電容式、力平衡式和諧振式。其中最具有吸引力的是力平衡加速度計,其典型產品是Kuehnel等人在1994年報導的AGXL50型。國內在微加速度感測器的研製...
壓阻式壓力感測器又稱為固態壓力感測器,它不同於貼上式應變計需通過彈性敏感元件間接感受外力,而是直接通過矽膜片感受被測壓力的。概述圖中矽膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔,另一面是與大氣連通的低壓腔。矽膜片一般設計成周邊固...
壓阻式擴散矽變送器的核心是擴散矽敏感元件。擴散矽感測器的弱點是溫度效應。環境溫度的變化將引起零位、滿度、應力靈敏度的變化。因此在單臂電橋中通過電阻的串並方法可使溫度影響減至最小。為此有些廠家在感測器組件中提供了若干校正用...
矽壓阻感測器在零點附近的低量程段無死區,且線性優良。 2. 精度高: 由於固態壓阻壓力感測器的感受,敏感轉換和檢測三部分由同一個元件實現,沒有中間轉換環節,所以不重複性和遲滯誤差極小。同時由於矽單晶本身剛度很大,形變很小...
《矽基壓力感測器》是2013年2月15日實施的一項中國國家標準。編制進程 2012年11月5日,《矽基壓力感測器》發布。2013年2月15日,《矽基壓力感測器》實施。起草工作 主要起草單位:瀋陽儀表科學研究院、感測器國家工程研究中心、國家儀器...
匯隆集團杭州科島微電子有限公司於2004年由浙江匯隆控股集團與國內微電子行業資深專家聯合創立。科島簡介 公司位於杭州市江乾區機場路248號,投入資金1.2億。是一家專業從事矽感測器(MEMS)系列產品及汽車專用積體電路研發、生產、銷售的高...
ICSensors擴散矽壓力感測器芯體採用擴散矽原理,有表壓、絕壓和差壓產品;有隔離充油金屬膜片(ISO)、雙列直插(DIP)、TO-8、表面貼裝(SO-8)等;多種封裝結構,可套用於各種相應測量場合。工作原理:被測介質的壓力直接作用於感測器...
《高過載矽壓力感測器中的應力勻散技術研究》是依託復旦大學,由沈紹群擔任項目負責人的面上項目。項目摘要 本項目研製了一種新型設計的應力勻散技術,它在矽三維結構的少掩膜腐蝕技術基礎上,進行理論分析和實驗研究,獲得了實現矽膜區與...
因為設計和製造感測器需要多學科的知識,只有經過電學、機械工程、物理和化學培訓的工程師才能夠進入這個領域並勝任此項工作。為了滿足這個需求,本書從有關矽微機械感測器設計所需的基本科學知識開始,論述了包括物理定律的按比例縮小、梁和...
《矽電容式壓力感測器》是2013年2月15日實施的一項中國國家標準。編制進程 2012年11月5日,《矽電容式壓力感測器》發布。2013年2月15日,《矽電容式壓力感測器》實施。起草工作 主要起草單位:瀋陽儀表科學研究院、感測器國家工程研究中心...
研究的必要性在於改變目前矽基多孔矽氣敏感測器多基於孔道無序的介孔尺寸多孔矽,難於在孔壁表面均勻形成有效納米複合以提高器件性能的現狀;突破尺寸在幾十至一百納米、高度有序排列且具高孔隙率的矽基多孔矽研究瓶頸;解決矽基有序納米...
解決半導體三維微力感測器的結構設計、製作以及三維微力之間的相互干擾和解耦等關鍵問題。本項目研究具有高靈敏度、高可靠性、小體積、低成本特點的三維微力矽微感測器,在微力學測量領域將具有重要意義和廣闊的發展前景。
矽壓阻式微型、薄型壓力感測器 《矽壓阻式微型、薄型壓力感測器》是2011年11月1日實施的一項行業標準。起草人 尤彩紅、王冰等。起草單位 崑山雙橋感測器測控技術有限公司、瀋陽儀表科學研究院等。
本項目以複合材料線上健康監測為背景,圍繞大變形柔性感測器的設計最佳化及其損傷奇異性的多尺度建模與動力學分析展開研究。針對易拉伸、可摺疊、抗損壞的柔性感測器的要求,引入波形矽和弓形交聯導電體兩種柔性結構,提出採用雙步轉移工藝的矽基...
《諧振式矽微結構感測器綜合測試分析儀器》是依託北京航空航天大學,由樊尚春擔任項目負責人的專項基金項目。項目摘要 研製功能較強、有一定開放性的諧振式矽微結構感測器綜合測試分析儀器,用於微機械諧振敏感結構、包含激勵與檢測單元的微機-...