《矽微三維微力感測器研究》是依託西安交通大學，由趙玉龍擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：矽微三維微力感測器研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：趙玉龍
- 依託單位：西安交通大學
- 批准號：60776048
- 申請代碼：F0404
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2008-01-01 至 2010-12-31
- 支持經費：25（萬元）
中文摘要
微力學測量與感測是研究微觀物質世界力學特性的工程基礎，多維微力學測量和感測是實現機器人微觸覺、微納器件的裝配、微生物操作等新技術的重要工具。本項目為了滿足三維微力測量的迫切需求，以MEMS體矽壓阻工藝技術為基礎，結合微探針與四懸臂矽梁支撐結構的特點，研製了一種基於微探針形式，具有uN級三維微力測量和感測的能力的半導體壓阻式三維微力矽微集成感測器。項目針對半導體集成三維微力感測器的總體設計、加工和封裝等工藝過程中的技術和相關理論進行了相應的研究，在4mmX4mm的矽基半導體晶片上集成三維微力感測器，解決半導體三維微力感測器的結構設計、製作以及三維微力之間的相互干擾和解耦等關鍵問題。本項目研究具有高靈敏度、高可靠性、小體積、低成本特點的三維微力矽微感測器，在微力學測量領域將具有重要意義和廣闊的發展前景。
