《高過載矽壓力感測器中的應力勻散技術研究》是依託復旦大學，由沈紹群擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：高過載矽壓力感測器中的應力勻散技術研究
- 依託單位：復旦大學
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：沈紹群
- 批准號：69674032
- 申請代碼：F0306
- 負責人職稱：副教授
- 研究期限：1997-01-01 至 1999-12-31
- 支持經費：10（萬元）
項目摘要
本項目研製了一種新型設計的應力勻散技術，它在矽三維結構的少掩膜腐蝕技術基礎上，進行理論分析和實驗研究，獲得了實現矽膜區與框線的交界處形成園弧形過渡區的理論計算和工藝技術，對提高矽微機械加工器件的過載能力具有普遍的實用價值。利用該技術，成功地開發了300Pa矽微壓感測器，過載壓力達到140倍滿量程以上。根據國際聯網查新，該產品為國際領先。本項目與國家九五科技攻關“96-748感測器技術”研究項目“矽微壓力感測器”（編號96-748-02-01/02）結合，已通過驗收和鑑定。
