《矽微機械感測器》是2003年1月1日中國宇航出版社出版的圖書。本書主要對多種矽微機械感測器的工作原理做了詳細的描述。
基本介紹
- 書名：矽微機械感測器
- 原版名稱：Mechanical Microsensors
- ISBN：7801446062，9787801446060
- 頁數：306頁
- 出版社：中國宇航出版社
- 出版時間：2003年1月1日
- 開本：32開
- 語種：簡體中文
- 尺寸：21.4 x 15.2 x 2.2 cm
- 重量：499 g
內容簡介,目錄,
內容簡介
因為設計和製造感測器需要多學科的知識，只有經過電學、機械工程、物理和化學培訓的工程師才能夠進入這個領域並勝任此項工作。為了滿足這個需求，本書從有關矽微機械感測器設計所需的基本科學知識開始，論述了包括物理定律的按比例縮小、梁和膜變形的力學、感測原理、流體流動和熱傳遞的基本規律以及相關的電子電路等眾多技術環節。此外還向讀者介紹了矽微機械加工工藝和感測器封裝的基本知識，並用壓力感測器、力學感測器、加速度計、陀螺和流體感測器的眾多例子說明了設計、製造和性能方面的有關問題。
目錄
第1章 引言
第2章 MEMS
2.1 微型化和系統
2.2 MEMS的例子
2.3 大和小：按比例縮小
2.4 已有的製造技術
第3章 矽微機械加工工藝
3.1 光刻
3.2 薄膜澱積和摻雜
3.3 濕法化學腐
3.4 圓片鍵合
3.5 電漿刻蝕
3.6 面微機械加工工藝
第4章 梁和膜的力學
4.1 質量塊-彈簧系統的動力學
4.2 弦
4.3 梁
4.4 膜片和薄膜
第5章 機械量的測量原理：形變的轉換
5.1 金屬應變片
5.2 半導體應變片
5.3 電容式感測器
第6章 力和壓力感測器
6.1 力感測器
6.2 壓力感測器
第7章 加速度和角速度感測器
7.1 加速度感測器
7.2 角速度感測器
第8章 流體感測器
8.1 層狀流邊界層
8.2 限於很小雷諾數情況下的熱傳輸
8.3 熱流體感測器
8.4 表層摩擦力感測器
8.5 “幹流體”感測器
8.6 “濕流體”感測器
第9章 諧振感測器
……
第10章 電子電路 接口
第11章 封裝
附錄 英漢名詞對照
參考文獻
