微感測器設計製造與套用

《微感測器設計製造與套用》是2008年北京航空航天大學出版社出版的圖書，作者是劉廣玉。

基本介紹

• 書名：微感測器設計製造與套用
• 作者：劉廣玉
• ISBN：10位[7811241994] 13位[9787811241990]
• 定價：￥23.00 元
• 出版社：北京航空航天大學出版社
• 出版時間：2008-2-1

內容提要

本書適合用作高等學校相關專業微機械感測器課程的教材，也可供從事微機械感測器研究的工程技術人員參考。本書主要內容是，對基於壓阻效應、電容效應、機械諧振效應、光電效應、電子隧道效應和原子力效應的多種微感測器和智慧型微感測器的物理機理、材料、設計、製造、套用和發展進行了深入系統的討論，包括對壓力、加速度、角速度、納米尺度和圖像生成等的測量與性能分析。全書內容豐富，重理論也重套用，各章後配有思考題。

目錄

第1章 微感測器概論

1.1 微感測器優特點

1.2 微感測器弱信號檢測技術

1.3 微感測器分類

1.4 現狀與未來

1.5 本書討論內容

思考題

第2章 微感測器與材料

2.1 概述

2.2 矽及其化合物材料

2.3 化合物半導體材料

2.4 光導纖維

2.5 熔凝石英

2.6 金剛石材料

2.7 壓電材料

2.8 磁致伸縮材料

2.9 形狀記憶合金

2.10 膨脹合金

2.11 幾種通用金屬材料

2.12 超導體

2.13 納米相材料

2.14 結論

思考題

第3章 微機械製造技術

3.1 概述

3.2 矽微機械加工技術

3.3 LIGA技術和SLIGA技術

3.4 固相鍵合技術

3.5 特種加工技術

思考題

第4章 矽壓阻式微感測器

4.1 概述

4.2 矽壓阻式壓力微感測器

4.3 矽壓阻式加速度微感測器

思考題

第5章 矽電容式微感測器

5.1 概述

5.2 矽電容式集成壓力感測器

5.3 微弱電容信號的檢測電路

5.4 接觸式矽電容壓力微感測器

5.5 矽電容式加速度微感測器

思考題

第6章 矽諧振式微感測器

6.1 概述

6.2 諧振式微感測器的物理機理

6.3 激勵和檢測機制

6.4 矽諧振式微感測器

思考題

第7章 納米微感測器

7.1 概述

7.2 電子隧道感測器工作原理

7.3 隧道加速度感測器

7.4 原子力納米結構感測器檢測原理

7.5 碳納米管質量感測器

思考題

第8章 光電式微感測器

8.1 概述

8.2 基本原理

8.3 光電感測器性能參數

8.4 CCD成像感測器

8.5 紅外感測器

8.6 光纖感測器

思考題

第9章 智慧型化微感測器

9.1 概述

9.2 現場匯流排式智慧型感測器

9.3 套用舉例

9.4 網路式智慧型微型無線感測器

思考題

參考文獻