微壓力感測器

基本介紹

• 中文名：微壓力感測器
• 外文名：The micro pressure sensor
• 優點：精度高、敏捷度高、動態特性好等
• 材料：半導體

簡介

微壓力感測器是採用半導體材料和MEMS工藝製造的新型壓力感測器。與傳統壓力感測器比擬，微壓力感測用具有精度高、敏捷度高、動態特性好、體積小、耐侵蝕、本錢低等長處。純單晶矽的材料疲憊小，採用這種材料製造的微壓力感測器的長期不亂性好。同時，微壓力感測器易於與微溫度感測器集成，增加溫度補償精度，大幅進步感測器的溫度特性和丈量精度。假如將2個微壓力感測器集成，又可以實現靜壓補償，從而進步壓力感測器的靜壓特性。由此可見，微壓力感測用具有很多傳統壓力感測器不具備的長處，能夠很好地滿足石化行業對壓力感測器的需求。