微型光機電系統

微型光機電系統的英文縮寫是“moems”，它是微光學、微電子、微機械的結合產生出一類新的套用範圍很廣的器件。moems日益成為新的光學工具，已經對許多基於光學的儀器顯示出套用前景。

微型光機電系統發展歷史

1959年，1965年諾貝爾物理學獎獲得者richard p feynman提出微型機械的構想。 　1962年，矽微型壓力感測器問世，之後50～500微米的齒輪，齒輪泵，氣動渦輪及聯接件等微系統問世。 　1966-1972年，基本的微加工技術發展，製造出微機械元件。 　1988年，加州大學伯克利分校製造出60-12微米直徑的矽微型靜電機。 　1980年代，矽微加工技術迅猛發展，利用犧牲層腐蝕技術獲得了微可動機構。

微型光機電系統特點

1、生產中的特點 　moems可以實現大批量生產。由於採用了積體電路晶片的生產技術，moems晶片本身的封裝已經達到了高度的集成化，其生產成本也大幅度降低。 　2、結構上優勢與特點 　moems的體積非常小，尺寸小至幾微米，大也不過幾毫米；回響速度在100ns～1s的範圍內；其可動結構通常由靜電致動，致動能為cv2/2；其結構可以做到相當複雜，包含元件數目達到1個～106個。 　3、動作上特點 　通過精確的驅動和控制，moems中的微光學元件可實現一定程度或範圍的動作，這種動態的操作包括光波波幅或波長的調整、瞬態的延遲、衍射、反射、折射及簡單的空間自調整。上述任何兩、三種操作的結合，都可以對入射光形成複雜的操作，甚至實現光運算和信號處理。

微型光機電系統套用領域

1.在民用領域的套用： 　光通信 　數字圖像獲取 　顯示與處理 　it外圍設備 　環境保護 　自動化生物醫療裝備 　工業維護 　2.在軍事領域的套用： 　光束靈活控制（stab）系統 　光學微型網路 　超大規模集成光學 　3.在空間的套用： 　光通信 　光遙感

微型光機電系統未來展望

moems技術發展的歷史並不長，但這是一項學科交叉性和綜合性都很強，且極具發展潛力的高新技術。隨著微機械加工技術在moems器件中的套用，既可以帶動一些重要的基礎課題研究，又可以帶動大量概念全新的功能部件開發，可以相信，更加成熟的moems器件在不遠的將來會得到更加廣泛的套用。