《光機電一體化叢書——微型感測器及其套用》是2005年化學工業出版社出版的圖書，作者是蔣蓁、羅均、謝少榮。
基本介紹
內容簡介,目錄,
內容簡介
微感測器是在微機械電子系統技術基礎上發展起來的一類新型感測器。微感測器具有體積小、重量輕、易於批生產、成本低等特點，在許多領域得到了越來越廣泛的套用。許多常規感測器不能勝任的工作。通過使用微感測器可以很好地完成。微感測器已經成為21世紀感測器的重要發展方向。
本書主要從普及的角度系統地介紹了各類微型感測器的基本原理，包括力與壓力微感測器、速度與加速度微感測器、熱微感測器、磁微感測器、化學微感測器、生物微感測器、光電微感測器、以及聲表面波感測器。此外還大量介紹了微感測器的典型的套用。本書的特點主要是內容系統全面、信息量大，涉及機電、光、熱、磁、化學、生物等方面，有助於讀者對微感測器有一個比較全面的了解。
本書可供從事機械電子、自動控制、儀器儀表、感測器及其套用等有關方面的工程技術人員使用，同時也可供科研院所、設計部門以及大專院校的有關師生參考。
本書主要從普及的角度系統地介紹了各類微型感測器的基本原理，包括力與壓力微感測器、速度與加速度微感測器、熱微感測器、磁微感測器、化學微感測器、生物微感測器、光電微感測器、以及聲表面波感測器。此外還大量介紹了微感測器的典型的套用。本書的特點主要是內容系統全面、信息量大，涉及機電、光、熱、磁、化學、生物等方面，有助於讀者對微感測器有一個比較全面的了解。
本書可供從事機械電子、自動控制、儀器儀表、感測器及其套用等有關方面的工程技術人員使用，同時也可供科研院所、設計部門以及大專院校的有關師生參考。
目錄
第1章 引言
1.1 感測器
1.2 感測器的發展
1.3 微感測器
第2章 微機電系統基礎
2.1 微機電系統定義
2.1.1 基礎理論
2.1.2 技術基礎
2.1.3 套用研究
2.2 微機電系統材料
2.2.1 矽
2.2.2 形狀記憶合金
2.2.3 壓電材料/電致伸縮材料
2.2.4 磁致伸縮材料
2.2.5 電流變體
2.2.6 凝膠
2.3 微機電系統的主要工藝
2.3.1 矽微加工
2.3.2 鍵合技術
2.3.3 LIGA技術
2.3.4 準分子雷射技術
2.3.5 特種精密加工技術
第3章 力和壓力微感測器
3.1 力微感測器
3.1.1 應變式力微感測器
3.1.2 壓電式力微感測器
3.2 壓力微感測器
3.2.1 壓阻式壓力微感測器
3.2.2 電容式壓力微感測器
3.2.3 諧振式壓力微感測器
3.3 摩托羅拉X型矽壓力微感測器
3.3.1 結構形式
3.3.2 分類
3.3.3 封裝形式
3.4 套用實例：微型高度計
第4章 加速度和角速度微感測器
4.1 加速度微感測器
4.1.1 加速度微感測器工作原理
4.1.2 壓阻式加速度微感測器
4.1.3 電容式加速度微感測器
4.1.4 諧振式加速度微感測器
4.1.5 伺服式加速度微感測器
4.1.6 隧道型加速度微感測器
4.1.7 加速度微感測器的套用
4.2 角速度微感測器
4.2.1 微機械陀螺的原理、分類與性能
4.2.2 音叉式微機械陀螺
4.2.3 框架式微機械陀螺
4.2.4 振動輪式微機械陀螺
4.3 微慣性測量組合
第5章 熱微感測器
5.1 微型熱電偶
5.1.1 熱電效應
5.1.2 接觸電動勢
5.1.3 溫差電動勢
5.1.4 薄膜熱電偶
5.2 半導體結的熱微感測器
5.2.1 二極體溫度感測器
5.2.2 電晶體溫度感測器
5.2.3 集成溫度感測器
5.3 熱敏電阻型微感測器
5.3.1 熱敏電阻參數
5.3.2 PTC熱敏電阻
5.3.3 NTC熱敏電阻
5.3.4 CTR熱敏電阻
第6章 磁微感測器
6.1 霍爾效應感測器
6.1.1 霍爾效應
6.1.2 霍爾效應感測器
6.2 磁阻感測器
6.2.1 磁阻效應
6.2.2 磁阻元件
6.2.3 磁敏電阻的溫度補償
……
第7章 化學微感測器
第8章 生物微感測器
第9章 光電微感測器
第10章 聲表面波感測器
第11章 微感測器的套用
1.1 感測器
1.2 感測器的發展
1.3 微感測器
第2章 微機電系統基礎
2.1 微機電系統定義
2.1.1 基礎理論
2.1.2 技術基礎
2.1.3 套用研究
2.2 微機電系統材料
2.2.1 矽
2.2.2 形狀記憶合金
2.2.3 壓電材料/電致伸縮材料
2.2.4 磁致伸縮材料
2.2.5 電流變體
2.2.6 凝膠
2.3 微機電系統的主要工藝
2.3.1 矽微加工
2.3.2 鍵合技術
2.3.3 LIGA技術
2.3.4 準分子雷射技術
2.3.5 特種精密加工技術
第3章 力和壓力微感測器
3.1 力微感測器
3.1.1 應變式力微感測器
3.1.2 壓電式力微感測器
3.2 壓力微感測器
3.2.1 壓阻式壓力微感測器
3.2.2 電容式壓力微感測器
3.2.3 諧振式壓力微感測器
3.3 摩托羅拉X型矽壓力微感測器
3.3.1 結構形式
3.3.2 分類
3.3.3 封裝形式
3.4 套用實例：微型高度計
第4章 加速度和角速度微感測器
4.1 加速度微感測器
4.1.1 加速度微感測器工作原理
4.1.2 壓阻式加速度微感測器
4.1.3 電容式加速度微感測器
4.1.4 諧振式加速度微感測器
4.1.5 伺服式加速度微感測器
4.1.6 隧道型加速度微感測器
4.1.7 加速度微感測器的套用
4.2 角速度微感測器
4.2.1 微機械陀螺的原理、分類與性能
4.2.2 音叉式微機械陀螺
4.2.3 框架式微機械陀螺
4.2.4 振動輪式微機械陀螺
4.3 微慣性測量組合
第5章 熱微感測器
5.1 微型熱電偶
5.1.1 熱電效應
5.1.2 接觸電動勢
5.1.3 溫差電動勢
5.1.4 薄膜熱電偶
5.2 半導體結的熱微感測器
5.2.1 二極體溫度感測器
5.2.2 電晶體溫度感測器
5.2.3 集成溫度感測器
5.3 熱敏電阻型微感測器
5.3.1 熱敏電阻參數
5.3.2 PTC熱敏電阻
5.3.3 NTC熱敏電阻
5.3.4 CTR熱敏電阻
第6章 磁微感測器
6.1 霍爾效應感測器
6.1.1 霍爾效應
6.1.2 霍爾效應感測器
6.2 磁阻感測器
6.2.1 磁阻效應
6.2.2 磁阻元件
6.2.3 磁敏電阻的溫度補償
……
第7章 化學微感測器
第8章 生物微感測器
第9章 光電微感測器
第10章 聲表面波感測器
第11章 微感測器的套用
