矽感測器,是用於醫學、軍事與航空航天、工業和汽車套用。基本原理是利用半導體的壓阻效應和微機械加工技術,在單晶矽片的特定晶向上,用光刻、擴散等半導體工藝製做一惠斯登電橋,形成敏感膜片,當受到外力作用時產生微應變,電阻率發生變化,使橋臂電阻發生變化(一對變大一對變小)在激勵電壓信號輸出,經過計算機溫度補償、雷射調阻、信號放大等處理手段和嚴格的裝配檢測、標定等工藝,生產出具有標準輸出信號的壓力變送器.
基本介紹
- 中文名:矽感測器
- 用途:醫學、軍事航空航天、工業和汽車
- 特點:更精確、更可靠
- 原理:半導體的壓阻效應和微機械加工