《矽電容式壓力感測器》是2013年2月15日實施的一項中國國家標準。
基本介紹
- 中文名:矽電容式壓力感測器
- 外文名:Silicon capacitive pressure sensor
- 標準類別:產品
- 標準號:GB/T 28854-2012
《矽電容式壓力感測器》是2013年2月15日實施的一項中國國家標準。
《矽電容式壓力感測器》是2013年2月15日實施的一項中國國家標準。編制進程2012年11月5日,《矽電容式壓力感測器》發布。2013年2月15日,《矽電容式壓力感測器》實施。起草工作主要起草單位:瀋陽儀表科學研究院、傳...
1.可做到極低壓力 2.抗過載能力強 3.精度高 缺點 高壓測量缺乏優勢 感測器封裝工藝要求高 主要區別 擴散矽壓力變送器 20世紀90年代中期,美國Icscnsor,公司,Nova公司套用矽品石和矽品片益合兩項尖端科技生產了新型擴散矽壓力感測器並開發出具有精度高、重複性小、抗腐蝕的擴散矽壓力變送器 過程壓力通過隔離膜片...
半導體電容式壓力感測器相比壓阻式壓力感測器其靈敏度高、溫度穩定性好、功耗小,且只對壓力敏感,對應力不敏感,因此,電容式壓力感測器在許多領域得到廣泛套用。高溫壓力感測器由矽膜片、襯底、下電極和絕緣層構成。其中下電極位於厚支撐的襯底上。電極上蒸鍍一層絕緣層。矽膜片則是利用各向異性腐蝕技術,在一片矽片上...
液位感測器(靜壓液位計/液位變送器/液位感測器/水位感測器)是一種測量液位的壓力感測器。靜壓投入式液位變送器(液位計)是基於所測液體靜壓與該液體的高度成比例的原理,採用隔離型擴散矽敏感元件或陶瓷電容壓力敏感感測器,將靜壓轉換為電信號,再經過溫度補償和線性修正,轉化成標準電信號(一般為4~20mA/1~5VDC...
矽膜片的一面是真空,另一面導入進氣管壓力,當進氣管內的壓力變化時,矽膜片的變形量就會隨之改變,並產生與進氣壓力相對應的電壓信號。進氣壓力越大,矽膜片的變形量也越大,感測器的輸出壓力也就越大。半導體壓敏電阻式進氣管壓力感測器的線性度好,且具有結構尺寸小、精度髙、回響特性好的優點。2.電容式進氣壓力...
HY800型系列電容式投入液位變送器核心部件採用進口陶瓷電容壓力(擴散矽)感測器,通過測量靜壓液柱來確定液位高度,轉化成4~20mADC標準電流信號,由於陶瓷電容壓力感測器生產過程中採用特殊工藝 ,內部具有三重保護功能 徹底解決了結露問題。電容式投入液位變送器 一、概述 測量膜片與介質大面積接觸,不易堵塞,便於清洗...
7.3.7壓阻式加速度感測器 7.3.8集成壓力感測器 7.3.9表面微機械壓阻式壓力感測器 7.4電容式壓力感測器 7.4.1工作原理及類型 7.4.2電容式感測器主要性能 7.4.3矽電容壓力感測器 7.4.4電容式感測器典型測量電路 7.5壓電式力學量感測器 7.5.1壓電效應 7.5.2石英晶體的壓電效應 7.5...
壓電式力敏感測器的優點是靈敏度高,工作溫度範圍寬(-70~250攝氏度),缺點是成本稍高。近年來,壓電式力敏感測器的套用領域和市場銷售額明顯擴大。力敏感測器是用來檢測氣體、固體、液體等物質間相互作用力的感測器。常用材料有半導體、金屬及合成材料。常用的主要是矽壓阻式力敏感測器和電容式力敏感測器。矽壓力感測器...
5 矽電容式集成感測器 5.1 概述 5.2 矽電容式集成壓力感測器 5.3 矽電容式集成壓力感測器的接口電路 5.4 矽電容式加速度感測器 5.5 矽電容式角速度感測器 思考題與習題 6 諧振式感測器 6.1 概述 6.2 諧振式感測器的基礎理論 6.3 諧振弦式壓力感測器 6.4 諧振膜式壓力感測器 6.5 諧振筒壓力...
壓力變送設備是輸出為標準信號的壓力感測器,是主要由測壓元件感測器、測量電路和過程連線件三部分組成的電力變送設備。設備簡介 壓力變送設備是輸出為標準信號的壓力感測器,主要由測壓元件感測器(也稱作壓力感測器)、測量電路和過程連線件三部分組成,形式主要有電容式壓力變送器和擴散矽壓力變送器,陶瓷壓力變送器...
(2)進一步提高壓力感測器的靈敏度,實現低量程的微壓感測器。(3)提高工作溫度,研製高低溫壓力感測器。(4)開發諧振式壓力感測器。2、微加速度感測器 矽微加速度感測器是繼微壓力感測器之後第二個進入市場的微機械感測器。其主要類型有壓阻式、電容式、力平衡式和諧振式。其中最具有吸引力的是力平衡加速度計,其典型...
YY-180壓力變送器是引進國外先進技術和設備生產的新型變送器,關鍵原材料,元器件和零部件均源自進口高品質擴散矽式、陶瓷式壓力感測器作為敏感元件,採用專用集成模組,經精細的溫漂、零點、非線性補償,實現對液體、氣體、蒸汽等介質壓力變化的準確測量和變送。壓力變送器是工業套用中最為常用的一種感測器,其廣泛...
1、應變片壓力感測器原理與套用 力學感測器的種類繁多,如電阻應變片壓力感測器、半導體應變片壓力感測器、壓阻式壓力感測器、電感式壓力感測器、電容式壓力感測器、諧振式壓力感測器及電容式加速度感測器等。但套用最為廣泛的是壓阻式壓力感測器,它具有極低的價格和較高的精度以及較好的線性特性。下面我們主要介紹這類感測器...
第2章壓力感測器 2. 1電容式壓力感測器 2. 1. 1差動電容式壓力感測器 2. 1. 2矽電容式集成壓力感測器 2. 2 電感式壓力感測器 2. 2. 1變磁阻式電感壓力感測器的工作原理 2. 2. 2變磁導式壓力感測器的工作原理 2. 3電阻應變片式壓力感測器 2. 3. 1電阻應變片的結構 2. 3. 2電阻應變片的工作原理...
2.3 矽壓阻式集成加速度感測器 2.4 矽電容式集成壓力感測器 2.5 矽電容式集成加速度感測器 思考題與習題 第3章 諧振式感測器 3.1 概述 3.2 諧振式感測器的基礎理論 3.3 諧振式感測器的典型套用 思考題與習題 第4章 光電感測器 4.1 概述 4.2 光電感測器的基本檢測原理 4.3 光電感測器的主要性能參數 4...
教學情境四 電感式、渦流式壓力感測器測量壓力(107)知識點一 電感式感測器的基本工作原理(108)知識點二 電感式感測器的測量電路(113)知識點三 渦流式壓力感測器的基本工作原理(118)知識點四 渦流式壓力感測器的測量電路(121)知識點五 電感式感測器的套用(123)教學情境五 電容式壓力感測器測量壓力(131...
GB/T 28851-2012 生化培養箱技術條件 GB/T 28852-2012 生物人工氣候試驗箱技術條件 GB/T 28853-2012 恆溫槽與恆溫循環裝置高溫恆溫循環裝置 GB/T 28854-2012 矽電容式壓力感測器 GB/T 28855-2012 矽基壓力感測器 GB/T 28856-2012 矽壓阻式壓力敏感晶片 GB/T 28857-2012 直流差動變壓器式位移感測 器 ...