電容式壓力變送器與擴散矽壓力變送器的區別

電容式變送器有一個可變電容的感測組件，稱為“δ"室。該感測器是一個完全封閉的組件。過程壓力、差壓通過隔離膜片和灌充液矽油傳到感測膜片引起位移，感測膜片和兩電容極板之間的電容差由電子部件轉換成(4～20)mA的兩線制輸出的電信號。電子放大電路由解調器、振盪器、振盪控制放大器、電流檢測器、電流控制放大器、電流限制控制器、基準電壓、穩壓器等組成。通過它們對電容信號進行檢測，從而控制振盪頻率，再將其轉換為電流輸出。% b) z* _2 Y t8 z9 ^0 o

性能

優點

1.可做到極低壓力

2.抗過載能力強

3.精度高) H, r! V( F% }+ H

缺點

1. 高壓測量缺乏優勢
   
2. 感測器封裝工藝要求高
   

工作原理

工作原理 " V2 D @7 ~# E6 X; h1 B J. F
儀表通過溫度感測器把溫度信號變為電信號，再由前置放大器把此電信號放大濾波，送往CPU的A/D 轉換模組進行模擬量到數字量的變換。最後由CPU進行數據處理並顯示及PWM輸出。

被側介質---〉感測器---〉電子線路---〉輸出信號 8 P$ M9 G, u: C/ q
被測介質的壓力直接作用於感測器的陶瓷/擴散矽膜片/上，使膜片產生與介質壓力成正比的微小位移，正常工作狀態下，膜片最大位移不大於0.025毫米，電子線路檢測這一位移量後，即把這一位移量轉換成對應於這一壓力的標準工業測量信號。超壓時膜片直接貼到堅固的陶瓷基體/擴散矽上，由於膜片與基體的間隙只有0.1毫米，因此過壓時膜片的最大位移只能是0.1毫米，所以從結構上保證了膜片不會產生過大變形，該感測器具有很好的穩定性和高可靠性。

擴散矽壓力變送器的主要特點

- i! _& }, [. S7 @4 s* e3 T k　1、穩定性高-每年優於0.1%滿量程。 ! k; X1 P7 ]" _% ?! ?
2、溫度偏移小-由於取消了測量元件中的中介液，因而感測器不僅獲得了很高的測量精度.6 @3 s) Q& a+ w5 Y0 S
3、可靠性好-採用大規模IC，電路可靠性好，抗干擾性能強。
/ t* x* T3 b4 _9 I- p1 h# p　4、適用性廣-產品具有多種型號，多種過程連線形式，可適應工業測量中的各種介質。 6 O5 E8 k: Q1 M+ X3 _
5、安裝維護簡便產品結構合理，體積小,重量輕，可直接任意位置安裝。* x0 O7 V8 m; S3 }# ~2 g7 @7 F

缺點是：

1. 低於0℃後，溫度穩定性大幅度降低
   
2. 不能承受動態壓力
   
3. 膜片較易損傷
   

區別

擴散矽壓力變送器

20世紀90年代中期，美國Icscnsor，公司,Nova公司套用矽品石和矽品片益合兩項尖端科技生產了新型擴散矽壓力感測器並開發出具有精度高、重複性小、抗腐蝕的擴散矽壓力變送器

過程壓力通過隔離膜片、密封矽油傳輸到擴散矽膜片上，同時參考端的壓力（大氣壓）作用於膜片的另一端。這樣膜片兩邊的壓差產生一個壓力場，使膜片的一部分壓縮。另一部分拉伸，在壓縮區和拉伸區分別有兩個應變電阻片，以感受壓力引起的阻值的變化，從而將壓力信號轉換為電信號.擴散矽在低溫零度以下、高溫85℃以上難以正常使用，也不適用於20MPa以上的高壓。

電容薄膜式壓力變送器

電容薄膜式絕對壓力變送器自20世紀80年代誕生至今己有20多年歷史，由於它精度高，耐腐蝕，耐污染，穩定性好，是岡內外公認的檢淵低真空壓力的理想儀表。美國的M.K.S公司是全球生產電容式壓力變送器的主要生產廠家，涉及民用工業的各個領域，並在航天工業、核工業等軍事工業中發揮著獨特的作用。這種壓力變送器是利用彈性薄膜在壓差作用下產生壓變引起電容變換的原理製成的，它由檢測部分和轉換電路組成，如圖7一34所示.檢測部分有真空腔和檢測腔兩個腔體。真空腔為全密封結構，經質譜檢漏儀檢漏合格後，通過長時間排氣，最後將排氣管密封而形成，井備有消氣劑以消除殘餘氣體，長期保持高真空.固定極板位於真空腔中，由極板引出線引至腔外.檢測膜片置於高真空的真空腔及連線低真空待測系統的檢測腔之間，檢測膜片為可動極板，其與固定極板形成一個平板電容器，有一定的電容（J.。被測的低真空壓力通過檢測孔進人檢測腔，檢測膜片產生撓曲，改變了其與固定極板的距離，電容值也隨之改變。不同的低真空壓力值決定不同的電容值。最後電容信號被輸送到電路轉換部分，電路轉換部分將電容信號通過變換、整理、放大等環節，輸出一個標準電壓或電流信號，它與真空壓力成正比。該類型壓力變送器為高靈敏度差壓測量，零點穩定。動態回響特性好，適應性強，一般適用於靜壓力的測最.