真空濺射鍍膜設備

《真空濺射鍍膜設備》是2010年機械工業出版社出版的圖書，作者是本社。

基本介紹

• 書名：真空濺射鍍膜設備
• ISBN：151119760
• 出版社：機械工業出版社
• 出版時間：2010-7-1
• 裝幀：平裝
• 開本：大16開

目錄

前言

1 範圍

2　規範性引用檔案

3　型號與基本參數

4　技術要求

4．1 設備正常工作條件

4．2 結構要求

4．3 製造質量

4．4　安全防護要求

5　試驗方法

5．1 極限壓力的測定

5．2　抽氣時間的測定

5．3　升壓率的測定

5．4　濺射電流的變化率的測定

5．5　測量用儀表設備

6 檢驗規則

7　標誌、包裝、運輸和貯存

7．1 標誌

7．2 包裝

7．3　運輸

7．4　貯存

表1　基本參數