極紫外源出處是天文學,中國天文學名詞審定委員會
基本介紹
- 中文名:極紫外源
- 外文名:extreme-ultraviolet source
- 出處:天文學
- 通過部門:中國天文學名詞審定委員會
內容簡介
中文譯名 | 極紫外源 |
英文原名/注釋 | extreme-ultraviolet source |
極紫外源出處是天文學,中國天文學名詞審定委員會
中文譯名 | 極紫外源 |
英文原名/注釋 | extreme-ultraviolet source |
極紫外源出處是天文學,中國天文學名詞審定委員會...... 極紫外源補充說明 編輯 “英漢天文學名詞資料庫”(以下簡稱“天文名詞庫”)是由中國天文學會天文學名詞審定...
極紫外光刻(Extreme Ultraviolet Lithography),常稱作EUV光刻,它以波長為10-14納米的極紫外光作為光源的光刻技術。具體為採用波長為13.4nm 的紫外線。極紫外線就...
由於在科學實驗中,需要探測的原子或分子數量可能非常少,存在時間也非常短,普通的極紫外光源無法滿足這個需求,必須要有高亮度的極紫外光源,即極紫外雷射。...
“極紫外”是天文學專有名詞。來自中國天文學名詞審定委員會審定發布的天文學專有名詞中文譯名,詞條譯名和中英文解釋數據著作權由天文學名詞委所有。...
極紫外輻射(EUV)或高能紫外輻射是波長在124nm到10nm之間的電磁輻射,對應光子能量為10eV到124eV。自然界中,日冕會產生EUV。人工EUV可由等離子源和同步輻射源得到。...
極紫外光刻膠是指在極紫外光刻技術中所套用的光刻膠。...... 首先是產能,2015年極紫外管個科技的產能只有80片/每小時,這一性能必須提高至至少兩倍才能達到量產...
極紫外探險者衛星(EUVE)是美國發展的一種科學與技術試驗衛星。這顆由美國NASA研製的天文衛星,主要用於在極紫外波段(7~76nm)進行巡天觀測,繪製極紫外天圖。1992年...
極紫外掩模缺陷是指在極紫外光刻技術中使用的掩模版上存在的缺陷總稱,比如襯底缺陷、基板缺陷等。...
極紫外光刻機曝光系統主要由反射鏡構成的照明光學系統(illumination optics)和投影光學系統(projection optics)組成。 ...
極紫外套刻誤差是指極紫外光刻技術中的套刻誤差大小。...... 極紫外套刻誤差主要由三部分組成:曝光區域間的套刻誤差、曝光區域內部的套刻誤差和隨機項。不同曝光...
書籍信息書名 雷射電漿極紫外光刻光源 書號 978-7-118-11793-6 作者 竇銀萍,宋曉偉,陶海岩 出版時間 2018年12月 譯者 版次 1版1次 開本 32 裝幀 平裝...
早在80年代,極紫外光刻技術就已經開始理論的研究和初步的實 驗,該技術 的光源是波 長為11~14 nm的極端遠紫外光,其原理主要是利用曝光光源極短的波長達到提高...
早在80年代,極紫外光刻技術就已經開始理論的研究和初步的實 驗,該技術 的光源是波 長為11~14 nm的極端遠紫外光,其原理主要是利用曝光光源極短的波長達到提高...
大連光源是中國科學院研製的中國第一台大型自由電子雷射科學研究用戶裝置,是當今世界上唯一運行在極紫外波段的自由電子雷射裝置,也是世界上最亮的極紫外光源。2017年1...
所領導的團隊近期在飛秒雷射電漿絲及其套用、飛秒雷射材料表面功能微納結構的製備、超快納米尺度等離激元、雷射電漿極紫外光源、雷射誘導擊穿光譜等方面開展了...
(2)層層組裝技術在產生極紫外光源領域套用和熱核聚變領域套用研究工作。承擔國家自然科學研究基金,參與多項自然科學重點,面上項目課題和863課題。[1] ...
主持國家863重大項目“高效過濾微濾氧化耦合技術與裝置”、國家863青年基金項目“基於新型無極紫外光源的光催化氧化水處理技術研究”,主持湖北省自然科學基金重大項目“...
自1995年至今一直從事軟X射線雷射和極紫外光源研究工作。先後主持承擔國家自然科學基金項目2項、863項目3項、高等學校博士學科點專項科研基金1項。作為第二負責人,...