掃描電子顯微鏡+粒子濺射儀是一種用於物理學、材料科學學科領域的電子光學儀器，於2015年11月25日啟用。
基本介紹
- 中文名：掃描電子顯微鏡+粒子濺射儀
- 外文名：SEM
- 學科領域：物理學、材料科學
- 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
二次電子解析度：3.0nm（高真空，30kV） 背散射電子解析度：4.0nm（低真空，30kV） EDS能量解析度：125 eV(Mn K)。
主要功能
表面形貌及元素定性及定量分析。
掃描電子顯微鏡+粒子濺射儀
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