《加速器真空室內壁鍍TiZrV/Pd複合薄膜的研究》是依託中國科學技術大學，由張波擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：加速器真空室內壁鍍TiZrV/Pd複合薄膜的研究
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：張波
- 依託單位：中國科學技術大學
中文摘要,結題摘要,
中文摘要
非蒸散型吸氣劑（NEG）可以吸收超高真空下的大部分氣體，將其鍍在真空室內壁後形成NEG薄膜，可使真空室由放氣源變為具有抽起作用的真空泵。NEG薄膜可以有效減小加速器儲存環內的動態氣載，降低其縱向氣壓梯度，因而在國外粒子加速器領域已獲得較多的套用。TiZrV合金是迄今所發現的具有最低激活溫度的NEG材料，因而成為目前最為常用的NEG薄膜材料。.儘管TiZrV有很好的真空性能，但隨著激活次數的增加，其吸氣能力會逐漸下降直至最終消失，而在其表面鍍上一層Pd可以使NEG表面免於氧化，並使其壽命大大延長。本課題將對真空室內壁鍍TiZrV/Pd複合薄膜的過程進行模擬，並對鍍膜工藝以及薄膜相關性能展開系統的研究。此項研究成果不僅在加速器真空室的表面處理領域，在真空獲得設備和微電子等領域都具有廣闊的套用前景。
結題摘要
非蒸散型吸氣劑（NEG）可以吸收超高真空下的大部分氣體，將其鍍在真空室內壁後形成NEG薄膜，可使真空室由放氣源變為具有抽起作用的真空泵。NEG薄膜可以有效減小加速器儲存環內的動態氣載，降低其縱向氣壓梯度，因而在國外粒子加速器領域已獲得較多的套用。TiZrV合金是迄今所發現的具有最低激活溫度的NEG材料，因而成為目前最為常用的NEG薄膜材料。在TiZrV表面鍍上一層Pd可以使NEG表面免於氧化，並使其壽命大大延長。 本課題通過對原有磁控濺射鍍膜系統進行若干改進，對TiZiV/Pd複合薄膜的製備工藝進行系統的研究，通過調整鍍膜參數可以獲得滿足要求的薄膜。採用掃描電子顯微鏡、X射線光電子能譜和X射線衍射儀等對TiZrV薄膜進行了相關的分析測試。搭建了一套新的二次電子測試裝置，採用成熟的商用電子槍，發射電流可控制在nA量級，測量的準確度和穩定性都有所提高，採用此裝置對TiZrV/Pd薄膜的SEY進行了測量。搭建了一套抽速測量系統，對TiZrV/Pd的測量正在進行當中。另外，採用PIC/MCC軟體OOPIC對管道內的磁控濺射放電過程進行了模擬，研究了各參量對模擬過程的影響及放電參數對放電過程的影響。 通過本課題，掌握了加速器管道內壁鍍TiZrV/Pd複合薄膜的製備工藝，積累了一定的工程經驗。此項研究成果不僅在加速器真空室的表面處理領域，在真空獲得設備和微電子等領域都具有廣闊的套用前景。
