多功能真空鍍膜系統

多功能真空鍍膜系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2011年12月16日啟用。

基本介紹

• 中文名：多功能真空鍍膜系統
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2011年12月16日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備

技術指標

技術指標：該系統有兩個真空腔室，採用機械手送樣，換樣時不破壞主真空室真空；配置3個2英寸強磁靶槍和1個熱蒸發源，可實現磁控濺射鍍膜和熱蒸發鍍膜；配備兩台500W直流電源，一台300W射頻電源；熱蒸發最高溫度可到達1500攝氏度；樣品室退火溫度可達1000攝氏度；主真空室的極限真空可達到5*10-8Torr，預真空室的真空度可達到6*10-6Torr；整機採用計算機+PLC全自動控制方式，實現智慧型化操作。

主要功能

可用於磁控濺射及熱蒸發鍍膜；科研教學。