超高真空磁控與離子束濺射聯合鍍膜系統

超高真空磁控與離子束濺射聯合鍍膜系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2016年11月28日啟用。

基本介紹

• 中文名：超高真空磁控與離子束濺射聯合鍍膜系統
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2016年11月28日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備

技術指標

包含有3個互相連線的獨立真空腔體，分別用於進樣、磁控濺射薄膜生長、以及離子束濺射薄膜生長。樣品可以在真空環境下在3個腔體之間自由傳送。

主要功能

超高真空鍍膜。