多功能真空鍍膜機是一種用於物理學、材料科學、電子與通信技術領域的工藝試驗儀器，於2019年11月22日啟用。
基本介紹
- 中文名：多功能真空鍍膜機
- 產地：中國
- 學科領域：物理學、材料科學、電子與通信技術
- 啟用日期：2019年11月22日
- 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備
技術指標,主要功能,
技術指標
電子槍蒸發源：一把成都金雅客公司電子槍，6孔坩堝，每孔40cc容量，電子槍位於真空室下部；電子槍冷卻水流量監測，互鎖保護，自帶自動預熔功能、實現膜厚儀自動控制電子槍鍍膜，操作更方便。 電阻蒸發：2組蒸發電極，兼容蒸發舟、螺旋蒸髮絲，帶有自動檔板。1台以色列產TDK蒸發電源功率：1.44KW,切換2組源蒸發。 有機蒸發源：6組有機蒸發源，配套6組坩堝。 6台有機蒸發電源，配備實時顯示坩堝溫度。 工件架（自轉 水冷）：設備配有自轉電動工件盤，一次性放置最大不超過150*150mm樣品一片。配有單轉軸空心磁流體密封，樣品台水冷。高扭矩電機和控制器，轉速0~30RPM可調。
主要功能
系統可鍍鍍制各種介質膜、光學膜、透明導電膜、鐵電薄膜等如：各種金屬鈦、鉑、金等、常見氧化物、Si, Al2O3, TiO2, SiO2,氧化鉿等，以及半導體雷射器常見膜系，如高反膜，減反膜等。 系統可蒸鍍最多6種有機材料如：C60、NPB、TPBi等材料；設備可與手套箱對接方便在手套箱中操作，採用前滑動開門結構。
