半導體製造系統調度

內容簡介

本書以半導體製造系統調度為研究對象，在全面分析半導體製造系統調度特點的基礎上，對半導體製造系統調度中存在的問題進行了詳細地解剖、分析，並對各個問題的求解方法進行了詳細介紹，最後通過實例介紹了各調度問題解決方案的實際使用方法。本書在認真總結國內外20年來的半導體製造系統調度研究成果的基礎上，結合作者多年在製造系統調度，特別是半導體製造系統調度領域的研究與套用成果，對複雜的半導體製造系統調度問題從理論到方法再到套用進行了全方位、系統化的論述。

本書可供從事半導體製造系統計畫、調度和最佳化等相關領域研究工作的科研人員，自動控制、工業工程等專業研究生和教師，製造管理及微電子製造行業生產管理或工程技術人員等閱讀、參考。

圖書目錄

第1篇基礎篇

第1章概述

1.1 製造系統自動化

1.2 製造系統中的計畫、調度與控制

1.3 製造系統的調度問題

1.4 半導體製造系統的調度問題

第2章半導體製造系統及其調度

2.1 半導體製造產業的戰略意義

2.2 半導體製造工藝簡介

2.3 半導體製造系統的高度複雜性

2.4 半導體製造系統的性能指標

2.5 半導體製造系統調度

2.6 半導體製造系統調度分類

第3章半導體製造系統調度的建模方法

3.1 概述

3.2 傳統建模方法

3.3 Petri網模型

3.4 預測模型

3.5 群體智慧型模型

3.6 基於Agent的半導體製造系統集成調度模型

第4章半導體製造系統調度方法

4.1 運籌學

4.2 啟發式規則

4.3 人工智慧方法

4.4 計算智慧型

4.5 群體智慧型

第2篇方法篇

第5章半導體製造系統中的投料控制

5.1 概述

5.2 粗日投料策略

5.3 細日投料策略

第6章半導體製造系統中的工件調度

6.1 概述

6.2 基於數學規劃的工件調度

6.3 基於啟發式規則的工件調度

6.4 基於人工智慧的工件調度

6.5 基於遺傳算法的工件調度

第7章半導體製造系統中的批加工設備調度

7.1 概述

7.2 單台批加工設備調度

7.3 並行批加工設備調度

7.4 帶有批加工設備的半導體生產線動態調度

第8章半導體製造系統中的設備維護調度

8.1 概述

8.2 半導體製造過程設備維護調度策略的分類

8.3 基於系統仿真的設備維護調度

8.4 基於數學規劃的設備維護調度

半導體製造系統調度

基本介紹

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