半導體製造系統智慧型調度

半導體製造系統智慧型調度

《半導體製造系統智慧型調度》是2015年清華大學出版社出版的圖書。

基本介紹

  • 書名:半導體製造系統智慧型調度
  • 出版社:清華大學出版社
  • 出版時間:2015年
  • 定價:29 元
  • 裝幀:平裝
  • ISBN:9787302391180
書籍簡介,書籍目錄,

書籍簡介

本書以半導體製造系統為研究對象,在全面分析其調度特點的基礎上,詳細解剖、分析半導體製造系統各類調度問題,運用智慧型化方法設計了相應的求解方案,並通過實例給出了各類調度問題智慧型化解決方案的實際使用方法。本書在認真總結國內外多年的半導體製造系統智慧型調度研究成果的基礎上,結合作者多年在製造系統智慧型調度,特別是半導體製造系統智慧型調度領域的研究與套用成果,對複雜的半導體製造系統智慧型調度問題從理論到方法再到套用進行了全方位、系統化的論述。

書籍目錄

第1章概述1
1.1半導體製造過程1
1.2半導體生產線運作總體框架7
1.2.1物理系統7
1.2.2信息系統10
1.3半導體生產線調度11
1.3.1調度特點11
1.3.2調度類型與調度方法13
1.3.3評價指標16
1.4半導體製造系統調度體系結構18
1.4.1組件化可重構半導體生產線調度體系結構19
1.4.2半導體生產線調度仿真系統通用結構模型21
1.4.3基於數據的動態建模方法23
1.4.4組件化半導體生產線調度仿真系統24
1.5小結27
第2章智慧型化調度方法28
2.1計算智慧型簡介28
2.1.1計算智慧型起源28
2.1.2計算智慧型的分類及特點29
2.2遺傳算法30
2.2.1遺傳算法簡介30
2.2.2遺傳算法求解流程31
2.2.3基於遺傳算法的單機調度問題求解35
2.3免疫算法36
2.3.1免疫算法簡介37
2.3.2免疫算法基本流程38
2.3.3基於免疫算法的多目標柔性作業車間調度問題求解39
2.4分布估計算法41
2.4.1分布估計算法簡介41
2.4.2分布估計算法基本流程43
2.4.3基於分布估計算法的流水車間調度44
2.5蟻群最佳化算法46
2.5.1蟻群最佳化算法簡介46
2.5.2蟻群最佳化算法模型及基本流程47
2.5.3基於蟻群最佳化算法的作業車間調度問題求解48
2.6Memetic算法50
2.6.1Memetic算法簡介50
2.6.2Memetic算法求解流程50
2.6.3基於Memetic算法的車間動態調度問題求解55
2.7小結57
第3章智慧型化投料控制策略58
3.1概述58
3.1.1常用投料控制策略59
3.1.2改進的投料控制策略65
3.2混合智慧型最佳化投料控制策略66
3.2.1基於混合智慧型算法的投料控制68
3.2.2混合智慧型算法運行效果及性能分析73
3.3基於Memetic算法的投料控制策略77
3.3.1Memetic算法及SBOI平台介紹77
3.3.2基於SBOI平台的投料控制實例79
3.4小結87
第4章瓶頸設備智慧型化調度89
4.1約束理論89
4.1.1TOC的原理90
4.1.2TOC對生產系統的計畫與控制步驟92
4.1.3TOC在生產計畫與管理方面的優勢95
4.2瓶頸設備識別方法96
4.2.1瓶頸設備定義97
4.2.2瓶頸設備定量識別算法99
4.2.3瓶頸設備辨識算法100
4.2.4瓶頸設備管理101
4.3基於GA的瓶頸設備調度方法102
4.3.1遺傳算法的套用102
4.3.2基於GA的瓶頸設備調度驗證107
4.4基於ACO的瓶頸設備調度方法112
4.4.1概述112
4.4.2MiniFab半導體生產線調度問題113
4.4.3基於ACO算法的瓶頸區排程方法114
4.5小結120
第5章批加工設備智慧型調度121
5.1概述121
5.2批加工設備調度描述122
5.2.1單台批加工設備調度122
5.2.2並行批加工設備調度125
5.2.3帶有批加工設備的半導體生產線動態調度128
5.3基於ACO的批加工設備調度方法133
5.3.1概述133
5.3.2問題假設134
5.3.3基於ACO的半導體生產線批加工區調度方法135
5.4基於柔性ACO的批加工設備調度方法143
5.4.1柔性蟻群算法143
5.4.2需求分析148
5.4.3算法設計149
5.4.4算法實現149
5.5基於ACOICSA的批加工設備調度151
5.5.1免疫克隆選擇算法151
5.5.2基於ACOICSA融合算法的單台批加工設備調度研究152
5.6小結159
第6章半導體生產線智慧型化調度方法161
6.1概述161
6.2基於ACO的單瓶頸半導體生產線調度方法164
6.2.1調度模型164
6.2.2基於蟻群算法的一體化調度165
6.2.3仿真分析171
6.3基於MultiACO的多瓶頸半導體生產線調度方法174
6.3.1概述174
6.3.2MiniFab半導體生產線調度問題175
6.3.3基於MultiACO的多瓶頸加工區排程方法176
6.4基於ACOICSA的多瓶頸半導體生產線調度方法181
6.4.1概述181
6.4.2MiniFab半導體生產線調度問題181
6.4.3基於ACOICSA的瓶頸區排程方法182
6.5小結186
附錄A專業詞語彙總表187附錄B模型介紹191B.1HP24模型介紹191
B.2MiniFab模型介紹193
B.3某6寸生產線簡化模型介紹194
參考文獻196

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